Жұқа пленканы тұндыру - жартылай өткізгіштің негізгі субстрат материалына пленка қабатын жабу. Бұл пленка әртүрлі материалдардан жасалуы мүмкін, мысалы, оқшаулағыш қосылыс кремний диоксиді, жартылай өткізгіш полисилиций, металл мыс және т.б. Жабу үшін қолданылатын жабдық жұқа қабықша тұндыру деп аталады...
Толығырақ оқыңыз