Негізгі функцияларыкремний карбиді қайықтірек және кварц қайық тірегі бірдей.Кремний карбидінен жасалған қайыққолдау тамаша өнімділікке ие, бірақ жоғары бағаға ие. Ол қатал жұмыс жағдайлары бар аккумуляторды өңдеу жабдығында (мысалы, LPCVD жабдығы және бор диффузиялық жабдық) кварцты қайықты қолдаумен балама қатынасты құрайды. Кәдімгі жұмыс жағдайлары бар аккумуляторларды өңдеу жабдығында баға қатынастарына байланысты кремний карбиді мен кварцты қайық тірегі қатар өмір сүретін және бәсекелес санаттарға айналады.
① LPCVD және бор диффузиялық жабдықтағы алмастыру қатынасы
LPCVD жабдығы аккумуляторлық ұяшықтарды туннельдеу тотығу және легирленген полисилиций қабатын дайындау процесінде қолданылады. Жұмыс принципі:
Төмен қысымды атмосферада тиісті температурамен біріктірілген химиялық реакция және тұндыру қабықшасының түзілуі ультра жұқа туннельдік оксид қабаты мен полисилликон пленкасын дайындауға қол жеткізіледі. Туннельді тотығу және легирленген полисилиций қабатын дайындау процесінде қайық тірегі жоғары жұмыс температурасына ие және бетінде кремний пленкасы сақталады. Кварцтың термиялық кеңею коэффициенті кремнийдікінен біршама ерекшеленеді. Жоғарыда аталған процесте пайдаланған кезде, кремнийден әртүрлі термиялық кеңею коэффициентіне байланысты термиялық кеңею мен жиырылуына байланысты кварц қайық тірегі сынып кетпес үшін бетіне шөгіп қалған кремнийді үнемі тұздап, алып тастау қажет. Жиі тұздауға және төмен температураға төзімділікке байланысты, кварц қайық ұстағышы қысқа қызмет мерзіміне ие және туннельді тотығу және легирленген полисилиций қабатын дайындау процесінде жиі ауыстырылады, бұл батарея ұяшығының өндірістік құнын айтарлықтай арттырады. Кеңейту коэффициентікремний карбидікремнийге жақын. біріктірілгенкремний карбиді қайықҰстағыш туннельді тотығу және легирленген полисилиций қабатын дайындау процесінде тұздауды қажет етпейді. Оның жоғары температураға төзімділігі және ұзақ қызмет ету мерзімі бар. Бұл кварц қайық ұстағышына жақсы балама.
Бор кеңейту жабдығы негізінен PN түйісуін қалыптастыру үшін P типті эмитентті дайындау үшін аккумулятор ұяшығының N-типті кремний пластинкасының астарындағы бор элементтерін қоспалау процесі үшін қолданылады. Жұмыс принципі жоғары температуралы атмосферада химиялық реакция мен молекулалық тұндыру пленкасының түзілуін жүзеге асыру болып табылады. Пленка пайда болғаннан кейін кремний пластинкасының бетінің қоспалау функциясын жүзеге асыру үшін оны жоғары температурада қыздыру арқылы таратуға болады. Бор кеңейту жабдығының жұмыс температурасының жоғары болуына байланысты кварц қайық ұстағышының жоғары температуралық беріктігі төмен және борды кеңейту жабдығында қысқа қызмет ету мерзімі бар. біріктірілгенкремний карбиді қайықұстағыштың жоғары температуралық беріктігі бар және борды кеңейту процесінде кварц қайық ұстағышына жақсы балама болып табылады.
② Басқа технологиялық жабдықтағы ауыстыру қатынасы
SiC қайық тіректерінің тығыз өндірістік қуаты және тамаша өнімділігі бар. Олардың бағасы әдетте кварцты қайық тіректерінен жоғары. Ұяшықтарды өңдеу жабдығының жалпы жұмыс жағдайында SiC қайық тіректері мен кварцты қайық тіректері арасындағы қызмет ету мерзімінің айырмашылығы шамалы. Төменгі тұтынушылар негізінен өз процестері мен қажеттіліктеріне негізделген баға мен өнімділікті салыстырады және таңдайды. SiC қайық тіректері мен кварц қайық тіректері қатар өмір сүретін және бәсекеге қабілетті болды. Дегенмен, SiC қайық тіректерінің жалпы пайда маржасы қазіргі уақытта салыстырмалы түрде жоғары. SiC қайық тіректерін өндіру құнының төмендеуімен, егер SiC қайық тіректерінің сату бағасы белсенді түрде төмендесе, бұл кварц қайық тіректерінің бәсекеге қабілеттілігін де арттырады.
Қолдану коэффициенті
Ұяшық технологиясының бағыты негізінен PERC технологиясы және TOPCon технологиясы. PERC технологиясының нарықтағы үлесі 88%, TOPCon технологиясының нарықтағы үлесі 8,3% құрайды. Екеуінің жиынтық нарықтағы үлесі 96,30% құрайды.
Төмендегі суретте көрсетілгендей:
PERC технологиясында алдыңғы фосфордың диффузиясы және күйдіру процестері үшін қайық тіректері қажет. TOPCon технологиясында бордың алдыңғы диффузиясы, LPCVD, фосфордың артқы диффузиясы және күйдіру процестері үшін қайық тіректері қажет. Қазіргі уақытта кремний карбиді қайық тіректері негізінен TOPCon технологиясының LPCVD процесінде қолданылады және олардың бор диффузиясы процесінде қолданылуы негізінен тексерілді.
Сурет Ұяшықты өңдеу процесінде қайық тіректерін қолдану
Ескертпе: PERC және TOPCon технологияларының алдыңғы және артқы жабынынан кейін экранды басып шығару, агломерациялау және сынау және сұрыптау сияқты сілтемелер әлі де бар, олар қайық тіректерін пайдалануды қамтымайды және жоғарыдағы суретте көрсетілмеген.
Хабарлама уақыты: 15 қазан 2024 ж