Кремний карбидікремний мен көміртегі бар қатты қосылыс болып табылады және табиғатта өте сирек минералды моиссанит ретінде кездеседі. Кремний карбидінің бөлшектерін агломерациялау арқылы біріктіруге болады, олар өте қатты керамика түзеді, олар жоғары беріктікті қажет ететін қолданбаларда, әсіресе жартылай өткізгіштерді өңдеуде кеңінен қолданылады.
SiC физикалық құрылымы
SiC жабыны дегеніміз не?
SiC жабыны - жоғары коррозияға және ыстыққа төзімділікке және тамаша жылу өткізгіштікке ие тығыз, тозуға төзімді кремний карбидті жабын. Бұл жоғары таза SiC жабыны негізінен жартылай өткізгіштер мен электроника өнеркәсібінде пластиналарды, негіздерді және қыздыру элементтерін коррозиялық және реактивті ортадан қорғау үшін қолданылады. SiC жабыны жоғары вакуумды, реактивті және оттегі орталарында вакуумдық пештер мен үлгіні қыздыру үшін де жарамды.
Жоғары таза SiC жабынының беті
SiC жабу процесі дегеніміз не?
Қолдану арқылы субстраттың бетіне кремний карбидінің жұқа қабаты қойыладыCVD (химиялық булардың тұндыру). Тұндыру әдетте 1200-1300 ° C температурада жүзеге асырылады және термиялық кернеуді азайту үшін субстрат материалының термиялық кеңею әрекеті SiC жабынымен үйлесімді болуы керек.
CVD SIC жабындысы ПЛОНКА КРИСТАЛДЫҚ ҚҰРЫЛЫМЫ
SiC жабынының физикалық қасиеттері негізінен оның жоғары температураға төзімділігінде, қаттылығында, коррозияға төзімділігінде және жылу өткізгіштігінде көрінеді.
Әдеттегі физикалық параметрлер келесідей:
Қаттылық: SiC жабыны әдетте 2000-2500 HV диапазонында Викерс қаттылығына ие, бұл оларға өнеркәсіптік қолданбаларда өте жоғары тозуға және соққыға төзімділік береді.
Тығыздығы: SiC жабындары әдетте 3,1-3,2 г/см³ тығыздыққа ие. Жоғары тығыздық жабынның механикалық беріктігі мен беріктігіне ықпал етеді.
Жылу өткізгіштік: SiC жабындары жоғары жылу өткізгіштікке ие, әдетте 120-200 Вт/мК (20°C температурада). Бұл оған жоғары температуралық ортада жақсы жылу өткізгіштік береді және оны әсіресе жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі термиялық өңдеу жабдықтары үшін қолайлы етеді.
Балқу нүктесі: кремний карбидінің балқу температурасы шамамен 2730°C және экстремалды температурада тамаша термиялық тұрақтылыққа ие.
Жылулық кеңею коэффициенті: SiC жабындары әдетте 4,0-4,5 мкм/мК диапазонында (25-1000℃ температурада) төмен сызықтық жылу кеңею коэффициентіне (CTE) ие. Бұл оның өлшемдік тұрақтылығы үлкен температура айырмашылықтары кезінде тамаша екенін білдіреді.
Коррозияға төзімділік: SiC жабындары күшті қышқыл, сілтілі және тотықтырғыш орталарда коррозияға өте төзімді, әсіресе күшті қышқылдарды (мысалы, HF немесе HCl) пайдаланғанда, олардың коррозияға төзімділігі кәдімгі металл материалдардан әлдеқайда асып түседі.
SiC жабындарын келесі материалдарға қолдануға болады:
Жоғары таза изостатикалық графит (төмен CTE)
Вольфрам
Молибден
Кремний карбиді
Кремний нитриді
Көміртек-көміртекті композиттер (CFC)
SiC жабыны бар өнімдер әдетте келесі салаларда қолданылады:
Жарықдиодты чип өндірісі
Полисилиций өндірісі
Жартылай өткізгішкристалдық өсу
Кремний жәнеSiC эпитаксисі
Вафельді термиялық өңдеу және ою
Неліктен VET Energy таңдау керек?
VET Energy - Қытайдағы SiC жабыны өнімдерінің жетекші өндірушісі, инноваторы және көшбасшысы, негізгі SiC жабын өнімдері мыналарды қамтиды.SiC жабыны бар вафли тасушы, SiC қапталғанэпитаксиалды сезгіш, SiC қапталған графит сақинасы, SiC жабыны бар жарты ай бөліктері, SiC қапталған көміртекті-көміртекті композиция, SiC қапталған вафельді қайық, SiC қапталған жылытқыш, т.б. VET Energy жартылай өткізгіштер өнеркәсібін соңғы технологиялармен және өнім шешімдерімен қамтамасыз етуге ұмтылады және теңшеу қызметтерін қолдайды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды шын жүректен күтеміз.
Егер сізде қандай да бір сұрақтар болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.
Whatsapp&Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Хабарлама уақыты: 18 қазан 2024 ж