PECVD графит қайығын қалай тазалау керек?| ТжКБ энергиясы

1. Тазалау алдында растау

1) ҚашанPECVD графит қайығы/тасымалдаушы 100-ден 150 реттен артық пайдаланылған болса, оператор жабын жағдайын уақытында тексеруі керек. Егер қалыптыдан тыс жабын болса, оны тазалау және растау қажет. Графиттік қайықтағы/тасымалдағыштағы кремний пластинкасының қалыпты жабын түсі көк. Вафлиде көк емес, бірнеше түстер болса немесе пластиналар арасындағы түс айырмашылығы үлкен болса, бұл қалыптыдан тыс жабын болып табылады және ауытқудың себебін уақытында растау қажет.
2) Процесс аяқталғаннан кейін қызметкерлер жабынның күйін талдайдыPECVD графит қайығы/тасымалдаушы, олар графитті қайықты тазалау керек пе және карта нүктесін ауыстыру қажет пе, соны анықтайды, ал тазалау қажет графит қайық/тасымалдаушы тазалау үшін жабдық персоналына беріледі.

 

3) кейінграфит қайық/тасымалдаушы зақымдалған болса, өндірістік персонал графит қайықтағы барлық кремний пластинкаларын алып тастап, фрагменттерді сұрыптау үшін CDA (қысылған ауа) пайдаланады.графит қайық. Аяқтағаннан кейін жабдық персоналы оны тазалауға арналған ЖЖ ерітіндісінің белгілі бір бөлігімен дайындалған қышқылдық резервуарға көтереді.

 

2. Графитті қайықты тазалау

Әрқайсысы 4-5 сағаттан үш рет тазалау үшін 15-25% фтор қышқылы ерітіндісін және сулау және тазалау процесінде мезгіл-мезгіл көпіршікті азотты қолдану ұсынылады, шамамен жарты сағаттық тазалауды қосады; Ескерту: көпіршіктер үшін газ көзі ретінде ауаны тікелей пайдалану ұсынылмайды. Тұздаудан кейін шамамен 10 сағат бойы таза сумен шайыңыз және қайықтың мұқият тазартылғанын растаңыз. Тазалап болғаннан кейін кремний нитриді қалдығының бар-жоғын білу үшін қайықтың бетін, графит картасының нүктесін және қайық парағының түйінін және басқа бөліктерін тексеріңіз. Содан кейін талаптарға сәйкес кептіріңіз.

3. Тазалау сақтық шаралары

A) HF қышқылы жоғары коррозиялық зат болғандықтан және белгілі бір құбылмалылыққа ие болғандықтан, операторлар үшін қауіпті. Сондықтан тазалау бекетіндегі операторлар қауіпсіздік шараларын сақтауы және оны арнайы маман басқаруы керек.

B) Қайықты бөлшектеу және тазалау кезінде тек графит бөлігін тазалау ұсынылады, осылайша әрбір жанасу бөлігін мұқият тазалауға болады. Қазіргі уақытта көптеген отандық өндірушілер жалпы тазалауды пайдаланады, бұл ыңғайлы, бірақ HF қышқылы керамикалық бөлшектерге коррозияға ұшырайтындықтан, жалпы тазалау сәйкес бөлшектердің қызмет ету мерзімін қысқартады.