Фотолитография машиналарының дәл бөлшектері үшін таңдаулы материал
Жартылай өткізгіштер өрісінде,кремний карбиді керамикаматериалдар негізінен кремний карбиді жұмыс үстелі, бағыттаушы рельстер сияқты интегралды схемаларды өндіруге арналған негізгі жабдықтарда қолданыладырефлекторлар, керамикалық сорғыш патрон, литографиялық машиналар үшін қолдар, тегістеу дискілері, арматуралар және т.б.
Кремний карбиді керамикалық бөлшектержартылай өткізгішті және оптикалық жабдыққа арналған
● Кремний карбиді керамикалық тегістеу дискісі. Тегістеу дискісі шойыннан немесе көміртекті болаттан жасалған болса, оның қызмет ету мерзімі қысқа және термиялық кеңею коэффициенті үлкен. Кремний пластинкаларын өңдеу кезінде, әсіресе жоғары жылдамдықпен тегістеу немесе жылтырату кезінде тегістеу дискінің тозуы және термиялық деформациясы кремний пластинкасының тегістігі мен параллельділігін қамтамасыз етуді қиындатады. Кремний карбидті керамикадан жасалған тегістеу дискісінің қаттылығы жоғары және тозуы аз, ал термиялық кеңею коэффициенті негізінен кремний пластиналарымен бірдей, сондықтан оны жоғары жылдамдықта ұнтақтап, жылтыратуға болады.
● Кремний карбиді керамикалық арматура. Сонымен қатар, кремний пластиналары шығарылған кезде, олар жоғары температурада термиялық өңдеуден өтуі керек және көбінесе кремний карбиді арматурасының көмегімен тасымалданады. Олар ыстыққа төзімді және бұзбайды. Алмаз тәрізді көміртекті (DLC) және басқа жабындарды өнімділікті арттыру, пластинаның зақымдалуын жеңілдету және ластанудың таралуын болдырмау үшін қолдануға болады.
● Кремний карбиді жұмыс үстелі. Мысал ретінде литография машинасындағы жұмыс үстелін алатын болсақ, жұмыс үстелі негізінен экспозиция қозғалысын аяқтауға жауап береді, ол жоғары жылдамдықты, үлкен инсультті, алты дәрежелі еркіндіктегі нанодеңгейдегі ультра дәлдіктегі қозғалысты қажет етеді. Мысалы, рұқсаты 100 нм, қабаттасудың дәлдігі 33 нм және сызық ені 10 нм болатын литография машинасы үшін 10 нм жету үшін жұмыс үстелінің орналасу дәлдігі қажет, маска-кремний пластинасы бір мезгілде қадам және сканерлеу жылдамдығы 150 нм/с. және тиісінше 120 нм/с, ал масканы сканерлеу жылдамдығы 500 нм/с-қа жақын және жұмыс үстелі қозғалыс дәлдігі мен тұрақтылығы өте жоғары болуы керек.
Жұмыс үстелінің және микро-қозғалыс үстелінің схемалық диаграммасы (жартылай қима)
● Кремний карбиді керамикалық шаршы айна. Литографиялық машиналар сияқты негізгі интегралды схема жабдықтарындағы негізгі компоненттер күрделі пішіндерге, күрделі өлшемдерге және қуыс жеңіл құрылымдарға ие, бұл кремний карбидінің керамикалық компоненттерін дайындауды қиындатады. Қазіргі уақытта Нидерландыдағы ASML, Жапониядағы NIKON және CANON сияқты негізгі халықаралық интегралды схема жабдықтарын өндірушілер төртбұрышты айналар, литография машиналарының негізгі құрамдас бөліктерін дайындау үшін микрокристалды шыны және кордиерит сияқты көптеген материалдарды пайдаланады және кремний карбидін пайдаланады. қарапайым пішіндері бар басқа жоғары өнімді құрылымдық компоненттерді дайындау үшін керамика. Дегенмен, Қытай құрылыс материалдарын зерттеу институтының сарапшылары ірі өлшемді, күрделі пішінді, өте жеңіл, толығымен жабық кремний карбидті керамикалық шаршы айналар мен литография машиналары үшін басқа құрылымдық және функционалды оптикалық компоненттерді дайындауға қол жеткізу үшін меншікті дайындау технологиясын қолданды.
Хабарлама уақыты: 10 қазан 2024 ж