Energi VETSilicon Carbide Coating Graphite Tray, Plate, lan Cover direkayasa kanggo nyedhiyakake kinerja tingkat paling dhuwur, nyedhiyakake operasi sing dipercaya lan konsisten sajrone panggunaan sing luwih dawa, dadi pilihan penting kanggo aplikasi pangolahan wafer ing industri semikonduktor. Iki-kinerja dhuwurSilicon Carbide Coating Graphite Platenduweni ketahanan panas sing luar biasa, keseragaman termal sing unggul, lan stabilitas kimia sing luar biasa, utamane ing kahanan suhu dhuwur. Konstruksi kemurnian sing dhuwur, ditambah karo resistensi erosi sing luwih maju, dadi penting kanggo lingkungan sing nuntut kayatasusceptors MOCVD.
Fitur Utama saka Silicon Carbide Coating Graphite Tray, Plate, lan Cover
1. Tahan Oksidasi Suhu Tinggi:Tahan suhu nganti 1700 ℃, saéngga bisa dipercaya ing kahanan sing ekstrim.
2. Kemurnian Tinggi lan Keseragaman Termal:Kemurnian dhuwur sing konsisten lan distribusi panas uga penting kanggo aplikasi MOCVD.
3. Ketahanan Korosi Luar Biasa:Tahan kanggo asam, alkali, uyah, lan macem-macem reagen organik, njamin stabilitas jangka panjang ing macem-macem lingkungan.
4. Hardness dhuwur lan lumahing kompak:Nduweni permukaan sing padhet kanthi partikel sing apik, nambah daya tahan sakabèhé lan tahan kanggo nyandhang.
5. Umur Layanan Lengkap:Direkayasa kanggo umur dawa, outperforming konvensionalsusceptor grafit sing dilapisi silikon karbidaing lingkungan pangolahan semikonduktor sing atos.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dhasar saka CVD SiClapisan | |
性质 / Properti | 典型数值 / Nilai khas |
晶体结构 / Struktur Kristal | Fase β FCC多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Kapadhetan | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Kekerasan | 2500 维氏硬度(500g beban) |
晶粒大小 / Ukuran Gandum | 2~10μm |
纯度 / Kemurnian Kimia | 99.99995% |
热容 / Kapasitas panas | 640 J·kg-1· K-1 |
升华温度 / Suhu Sublimasi | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Kekuwatan lentur | 415 MPa RT 4-titik |
杨氏模量 / Modulus Muda | 430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalKonduktivitas | 300W·m-1· K-1 |
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Keahlian VET Energy ing Solusi Grafit lan Silicon Carbide Disesuaikan
Minangka pabrikan sing dipercaya, VET Energy duwe spesialisasi ing susceptor grafit sing dirancang khusus lan solusi lapisan silikon karbida. Kita nawakake macem-macem produk sing cocog kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik, kalebuKomponen grafit sing dilapisi SiCkaya nampan, piring, lan tutup. Lineup produk kita uga kalebu macem-macem pilihan lapisan, kayataLapisan SiC kanggo MOCVD, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lan lapisan karbon pirolitik, njamin kita nyukupi panjaluk industri teknologi dhuwur sing beda-beda.
Tim teknis sing berpengalaman, sing kalebu ahli saka institusi riset domestik ndhuwur, nyedhiyakake solusi materi sing komprehensif kanggo klien. Kita terus-terusan nyaring proses maju, kalebu teknologi paten eksklusif sing nambah ikatan antarane lapisan silikon karbida lan substrat grafit, nyuda risiko detasemen lan luwih dawa umur produk.
Aplikasi lan Keuntungan ing Manufaktur Semikonduktor
IngSilicon Carbide Coating kanggo MOCVDndadekake susceptor grafit iki efektif banget ing suhu dhuwur, lingkungan korosif. Apa digunakake minangka operator wafer grafit utawa komponen MOCVD liyane, susceptor sing dilapisi silikon karbida iki nuduhake daya tahan lan kinerja sing unggul. Kanggo sing nggoleki solusi sing bisa dipercaya ingSusceptor grafit sing dilapisi SiCpasar, VET Energy kang silikon carbide-ditutupi tray grafit, piring, lan tutup nawakake pilihan kuat lan Versatile sing meets panjaluk kaku industri semikonduktor.
Kanthi fokus ing ilmu material canggih, VET Energy setya ngirim solusi grafit sing dilapisi SiC kanthi kinerja dhuwur sing ndadekake inovasi ing pangolahan semikonduktor lan njamin kinerja sing dipercaya ing kabeh aplikasi sing gegandhengan karo MOCVD.
VET Energy minangka pabrikan nyata produk grafit lan silikon karbida sing disesuaikan kanthi macem-macem lapisan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan sapiturute, bisa nyedhiyakake macem-macem bagean khusus kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik.
Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik ndhuwur, bisa menehi solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.
Kita terus-terusan ngembangake proses maju kanggo nyedhiyakake bahan sing luwih maju, lan wis ngupayakake teknologi paten sing eksklusif, sing bisa nggawe ikatan antarane lapisan lan landasan luwih kenceng lan kurang rentan kanggo detasemen.
Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo diskusi luwih lanjut!