1. Ngakoni sadurunge ngresiki
1) NalikaPerahu grafit PECVD/ operator digunakake luwih saka 100 kanggo 150 kaping, operator kudu mriksa kondisi lapisan ing wektu. Yen ana lapisan sing ora normal, kudu di resiki lan dikonfirmasi. Werna lapisan normal wafer silikon ing prau / pembawa grafit yaiku biru. Yen wafer wis non-biru, macem-macem werna, utawa prabédan werna antarane wafer gedhe, iku lapisan ora normal, lan sabab saka ora normal kudu dikonfirmasi ing wektu.
2) Sawise personel proses njelasno kondisi lapisan sakaPerahu grafit PECVD/ operator, padha bakal nemtokake manawa prau grafit kudu di resiki lan titik kertu kudu diganti, lan prau grafit / operator sing kudu di resiki bakal dipasrahake menyang personel peralatan kanggo reresik.
3) Sawiseprau grafit/ operator rusak, personel produksi bakal njupuk kabeh wafer silikon ing prau grafit lan nggunakake CDA (hawa teken) kanggo Ngurutake metu pecahan ingprau grafit. Sawise rampung, personel peralatan bakal ngangkat menyang tangki asam sing wis disiapake kanthi proporsi solusi HF tartamtu kanggo ngresiki.
2. Reresik saka prau grafit
Disaranake nggunakake solusi asam hidrofluorat 15-25% kanggo telung putaran reresik, saben 4-5 jam, lan kanthi periodik bubbling nitrogen sajrone proses soaking lan reresik, nambahake babagan setengah jam reresik; tandha: ora dianjurake kanggo nggunakake online langsung minangka sumber gas kanggo bubbling. Sawise pickling, mbilas nganggo banyu sing resik nganti 10 jam, lan konfirmasi manawa prau wis di resiki. Sawise reresik, priksa lumahing prau, titik kertu grafit lan joint sheet prau, lan bagean liyane kanggo ndeleng apa ana sisa silikon nitrida. Banjur garing miturut syarat.
3. Pancegahan reresik
A) Amarga asam HF minangka zat sing korosif banget lan duwe volatilitas tartamtu, mbebayani kanggo operator. Mulane, operator ing pos reresik kudu njupuk pancegahan safety lan dikelola dening wong sing darmabakti.
B) Disaranake mbongkar prau lan mung ngresiki bagean grafit sajrone reresik, supaya saben bagean kontak bisa diresiki kanthi luwih jero. Saiki, akeh manufaktur domestik nggunakake reresik sakabèhé, sing trep, nanging amarga asam HF korosif kanggo bagean keramik, reresik sakabèhé bakal nyepetake umur layanan saka bagean sing cocog.
Wektu kirim: Dec-23-2024