SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Katrangan singkat:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor kanggo Epitaxial Growth minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Nduwe resistensi panas sing apik banget lan keseragaman termal, kemurnian dhuwur, tahan erosi, dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.

Kirimi email kanggo kita Ngundhuh minangka PDF

Detail Produk

Tag produk

SiC coating grafit MOCVD Wafer operator/susceptor

Kabeh susceptor kita digawe saka grafit isostatic kekuatan dhuwur. Mupangate saka kemurnian dhuwur grafit kita - dikembangake utamane kanggo proses sing tantangan kaya epitaksi, pertumbuhan kristal, implantasi ion lan etsa plasma, uga kanggo produksi chip LED.

Fitur produk kita:

1. Resistance oksidasi suhu dhuwur nganti 1700 ℃.
2. Kemurnian dhuwur lan keseragaman termal
3. Resistance korosi sing apik: reagen asam, alkali, uyah lan organik.
4. kekerasan dhuwur, lumahing kompak, partikel alus.
5. Urip layanan luwih dawa lan luwih awet

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dhasar saka CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Kapadhetan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2~10μm
纯度 / Kemurnian Kimia	99.99995%
热容 / Kapasitas panas	640 J·kg^-1· K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700 ℃
抗弯强度 / Kekuwatan lentur	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Muda	430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
导热系数 / ThermalKonduktivitas	300W·m^-1· K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VET Energy minangka pabrikan nyata produk grafit lan silikon karbida khusus kanthi lapisan sing beda kayata lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan sapiturute, bisa nyedhiyakake macem-macem bagean khusus kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik.

Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik ndhuwur, bisa menehi solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.

Kita terus-terusan ngembangake proses maju kanggo nyedhiyakake bahan sing luwih maju, lan wis ngupayakake teknologi paten sing eksklusif, sing bisa nggawe ikatan antarane lapisan lan landasan luwih kenceng lan kurang rawan kanggo detasemen.

Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo diskusi luwih lanjut!