SiCコーティング/半導体用グラファイト基板コーティング、グラファイトトレイ，シックグラファイトエピタキシーサセプタ,
カーボン供給サセプター, エピタキシーとMOCVD, エピタキシーサセプタ, グラファイトトレイ, ウェーハサセプタ,

CVD-SiC コーティングは、均一な構造、緻密な材料​​、高温耐性、耐酸化性、高純度、酸およびアルカリ耐性、有機試薬の特性を備え、安定した物理的および化学的特性を備えています。

高純度黒鉛材料と比較すると、黒鉛は400℃で酸化が始まり、酸化による粉末の損失が発生し、周辺機器や真空チャンバーへの環境汚染を引き起こし、高純度環境の不純物が増加します。

しかし、SiC コーティングは 1600 度でも物理的および化学的安定性を維持できるため、現代の産業、特に半導体産業で広く使用されています。

当社は、グラファイトやセラミックスなどの材料表面に、炭素とシリコンを含む特殊ガスを高温で反応させ、高純度のSiC分子を得ることで、コーティング材料の表面に分子を堆積させ、CVD法によるSiCコーティング処理サービスを提供しています。 SIC保護層を形成します。形成された SIC はグラファイト ベースにしっかりと結合し、グラファイト ベースに特別な特性を与え、グラファイトの表面を緻密にし、気孔がなく、高温耐性、耐食性、耐酸化性を高めます。

主な特徴:

1. 高温酸化耐性:

1700℃もの高温でも耐酸化性は非常に良好です。

2. 高純度: 高温塩素化条件下での化学蒸着によって製造されます。

3.耐浸食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。

4. 耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

CVD-SICコーティングの主な仕様:

供給能力：

10000 個/月/個
梱包と配送:
パッキング:標準および強力なパッキング
ポリ袋 + ボックス + カートン + パレット
ポート：
寧波/深セン/上海
リードタイム：