SiCコーティンググラファイトMOCVDウエハキャリア、SiCエピタキシー用グラファイトサセプタ

簡単な説明:

 


  • 出身地:浙江省、中国 (本土)
  • モデル番号:ボート3004
  • 化学組成:SiCコーティングされたグラファイト
  • 曲げ強度:470Mpa
  • 熱伝導率:300W/mK
  • 品質:完璧
  • 関数:CVD-SiC
  • 応用:半導体/太陽光発電
  • 密度:3.21g/cc
  • 熱膨張:4 10-6/K
  • 灰: <5ppm
  • サンプル:利用可能
  • HSコード:6903100000
  • 製品詳細

    製品タグ

    SiCコーティンググラファイトMOCVDウエハキャリア、SiCエピタキシー用グラファイトサセプタ、
    カーボンサプライサセプタ、グラファイトサセプタ、グラファイトトレイ、SiCエピタキシー、ウェハサセプタ,

    製品説明

    CVD-SiC コーティングは、均一な構造、緻密な材料​​、高温耐性、耐酸化性、高純度、酸およびアルカリ耐性、有機試薬の特性を備え、安定した物理的および化学的特性を備えています。

    高純度黒鉛材料と比較すると、黒鉛は400℃で酸化が始まり、酸化による粉末の損失が発生し、周辺機器や真空チャンバーへの環境汚染を引き起こし、高純度環境の不純物が増加します。

    しかし、SiC コーティングは 1600 度でも物理的および化学的安定性を維持できるため、現代の産業、特に半導体産業で広く使用されています。

    当社は、グラファイトやセラミックスなどの材料表面に、炭素とシリコンを含む特殊ガスを高温で反応させ、高純度のSiC分子を得ることで、コーティング材料の表面に分子を堆積させ、CVD法によるSiCコーティング処理サービスを提供しています。 SIC保護層を形成します。形成された SIC はグラファイト ベースにしっかりと結合し、グラファイト ベースに特別な特性を与え、グラファイトの表面を緻密にし、気孔がなく、高温耐性、耐食性、耐酸化性を高めます。

    応用:

    2

    主な特徴:

    1. 高温酸化耐性:

    1700℃もの高温でも耐酸化性は非常に良好です。

    2. 高純度: 高温塩素化条件下での化学蒸着によって製造されます。

    3.耐浸食性:高硬度、緻密な表面、微細な粒子。

    4. 耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

    CVD-SICコーティングの主な仕様:

    SiC-CVD

    密度

    (g/cc)

    3.21

    曲げ強度

    (MPa)

    470

    熱膨張

    (10-6/K)

    4

    熱伝導率

    (W/mK)

    300

    供給能力:

    10000 個/月/個
    梱包と配送:
    パッキング:標準および強力なパッキング
    ポリ袋 + ボックス + カートン + パレット
    ポート:
    寧波/深セン/上海
    リードタイム:

    数量(個) 1~1000 >1000
    EST(東部基準時。時間(日) 15 交渉中


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