MOCVD用長寿命SICコートグラファイトヒーター K465i、エピタキシー用グラファイトヒーター

簡単な説明:

ケミカルグラファイト

利点: 高温耐性

用途:MOCVD/真空炉/ホットゾーン

かさ密度:1.68-1.91g/cm3

曲げ強度: 30-46Mpa

抵抗率:7-12μΩm


製品詳細

製品タグ

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MOCVD基板ヒーター、MOCVD用発熱体

黒鉛ヒータ:
グラファイトヒーターコンポーネントは高温炉で使用され、真空環境では温度が2200度、脱酸および挿入されたガス環境では3000度に達します。
主な特徴グラファイトヒーター:
1. 加熱構造の均一性。
2. 良好な導電性と高い電気負荷。
3.耐食性。
4. 非酸化性。
5. 高い化学純度。
6. 高い機械的強度。
利点は、エネルギー効率が高く、価値が高く、メンテナンスが少ないことです。
酸化防止、長寿命の黒鉛るつぼ、黒鉛モールド、黒鉛ヒーターの全ての部品を生産できます。
グラファイトヒーターの主なパラメータ:

技術仕様

VET-M3

かさ密度 (g/cm3)

≥1.85

灰分含有量 (PPM)

≤500

ショア硬度

≥45

比抵抗(μ.Ω.m)

≤12

曲げ強さ(Mpa)

40以上

圧縮強度(Mpa)

70以上

最大。粒径(μm)

≤43

熱膨張係数 Mm/℃

≤4.4*10-6

電気炉用黒鉛ヒーターは、耐熱性、耐酸化性、良好な導電性、優れた機械的強度などの特性を備えています。お客様の設計に合わせて各種グラファイトヒーターを加工いたします。

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