長寿命SICコートグラファイトヒーターMOCVD K465i用、エピタキシー用グラファイトヒーター、
グラファイトヒーター, MOCVD用グラファイトヒーター, ヒータ, SICコートグラファイトヒーター,
MOCVD基板ヒーター、MOCVD用発熱体
黒鉛ヒータ:
のグラファイトヒーターコンポーネントは高温炉で使用され、真空環境では温度が2200度、脱酸および挿入されたガス環境では3000度に達します。
主な特徴グラファイトヒーター:
1. 加熱構造の均一性。
2. 良好な導電性と高い電気負荷。
3.耐食性。
4. 非酸化性。
5. 高い化学純度。
6. 高い機械的強度。
利点は、エネルギー効率が高く、価値が高く、メンテナンスが少ないことです。
酸化防止、長寿命の黒鉛るつぼ、黒鉛モールド、黒鉛ヒーターの全ての部品を生産できます。
グラファイトヒーターの主なパラメータ:
技術仕様 | VET-M3 |
かさ密度 (g/cm3) | ≥1.85 |
灰分含有量 (PPM) | ≤500 |
ショア硬度 | ≥45 |
比抵抗(μ.Ω.m) | ≤12 |
曲げ強さ(Mpa) | 40以上 |
圧縮強度(Mpa) | 70以上 |
最大。粒径(μm) | ≤43 |
熱膨張係数 Mm/℃ | ≤4.4*10-6 |
電気炉用黒鉛ヒーターは、耐熱性、耐酸化性、良好な導電性、優れた機械的強度などの特性を備えています。お客様の設計に合わせて各種グラファイトヒーターを加工いたします。