CVDコーティングを施した再結晶炭化ケイ素ウェーハボート

再結晶炭化ケイ素の性質

再結晶炭化ケイ素（R-SiC）は、2000℃以上の高温で生成されるダイヤモンドに次ぐ硬度を持つ高性能素材です。高温強度、強力な耐食性、優れた耐酸化性、優れた耐熱衝撃性など、SiC の多くの優れた特性を保持しています。

●機械的特性に優れています。再結晶炭化ケイ素は炭素繊維よりも強度と剛性が高く、耐衝撃性が高く、極端な温度環境でも優れた性能を発揮し、さまざまな状況で優れたカウンターバランス性能を発揮します。また、柔軟性にも優れており、伸ばしたり曲げたりしても傷みにくいため、性能が大幅に向上します。

●耐食性に優れています。再結晶炭化ケイ素は、さまざまな媒体に対する高い耐食性を持ち、さまざまな腐食性媒体の侵食を防止でき、機械的特性を長期間維持でき、付着力が強いため、耐用年数が長くなります。さらに、熱安定性にも優れており、一定範囲の温度変化に適応し、塗布効果を向上させます。

●焼結により収縮しません。焼結法では収縮しないため、残留応力による変形やクラックが発生せず、複雑な形状の部品を高精度に作製することができます。