VET Energyは、高性能CVDタンタルカーバイド（TaC）コーティンググラファイトリングの研究開発と製造に注力し、半導体、太陽光発電、高温産業向けのコア消耗品ソリューションを提供することに尽力しています。当社が独自に開発した化学蒸着（CVD）技術は、精密プロセスによりグラファイト基板の表面に緻密で均一なタンタルカーバイドコーティングを形成し、製品の耐高温性（>3000℃）、耐腐食性、耐熱衝撃性を大幅に向上させ、製品寿命を3倍以上に延長することで、お客様の総合的なコスト削減を実現します。
当社の技術的優位性：
1. 高温酸化耐性
1200℃の空気雰囲気下では、酸化重量増加率は≤0.05mg/cm²/hであり、これは通常のグラファイトの耐酸化寿命の3倍以上であり、高周波加熱冷却サイクル条件に適しています。
2. 溶融シリコン/金属腐食に対する耐性
TaCコーティングは、液体シリコン（1600℃）、溶融アルミニウム/銅などの金属に対して極めて不活性であり、金属浸透による従来のガイドリングの構造的破損を回避します。特にパワー半導体や第三世代半導体の製造に適しています。
3. 極めて低い粒子汚染
CVD プロセスでは、コーティング密度 >99.5%、表面粗さ Ra≤0.2μm が達成され、発生源からのパーティクル脱落のリスクが低減され、12 インチ ウェーハ製造の厳しい清浄度要件が満たされます。
4. 正確なサイズ制御
CNC精密加工を採用し、グラファイト基板のサイズ公差は±0.01mm、コーティング後の全体変形は±5μm未満で、高精度装置チャンバーへの設置に適しています。
| 炭化钽涂層の物理特性 物理特性 物理的特性 タック コーティング | |
| 密度/ 密度 | 14.3 (g/cm³) |
| 比放射率 / 比放射率 | 0.3 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張係数 | 6.3 10-6/K |
| 努氏の硬さ/ 硬度（HK） | 2000香港 |
| 電気抵抗 / 抵抗 | 1×10-5 オーム*cm |
| 熱稳安定性 / 熱安定性 | 2500℃未満 |
| 石墨尺寸变化 / グラファイトのサイズの変化 | -10～-20μm |
| 層の厚さ / コーティングの厚さ | ≥30umの標準値（35um±10um） |
寧波VETエネルギーテクノロジー株式会社は、ハイエンドの先端材料の開発と製造に注力しているハイテク企業です。その材料と技術にはグラファイト、炭化ケイ素、セラミック、SiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの表面処理が含まれており、これらの製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などに広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、製品の性能と品質を保証するために複数の特許技術を開発しており、お客様に専門的な材料ソリューションを提供することもできます。
