炭化ケイ素ウェーハボートはウェーハの耐荷重装置で、主に太陽光発電や半導体の拡散プロセスで使用されます。耐摩耗性、耐食性、高温衝撃耐性、プラズマ衝撃耐性、高温支持能力、高熱伝導率、高放熱性、長期使用でも曲げ変形しにくいなどの特徴を持っています。当社は耐用年数を確保するために高純度の炭化ケイ素材料を使用し、さまざまな垂直および水平ウェーハボートを含むカスタマイズされた設計を提供します。
材料データシート
| 材質材料 | R-SiC |
| 使用温度使用温度(℃) | 1600℃（氧化ガス酸化環境）1700℃（还原ガス氛還元環境） |
| SiC含有量SiC含有量(%) | > 99 |
| 自由Si含有量Free Si含有量(%) | < 0.1 |
| 体密度かさ密度(g/cm3) | 2.60-2.70 |
| 通気率見掛け気孔率(%) | < 16 |
| 耐圧強度圧壊強度(MPa) | > 600 |
| 常温耐弯强度冷間曲げ強度(MPa) | 80～90（20℃） |
| 高温耐性强度熱間曲げ強度(MPa) | 90～100（1400℃） |
| 熱膨張係数熱膨張係数 @1500°C (10-6/°C) | 4.70 |
| 导熱系数熱伝導率 @1200℃ (W/m・K) | 23 |
| 杨氏模量弾性率(GPa) | 240 |
| 耐熱震性耐熱衝撃性 | 很好非常に良い |
寧波 VET エネルギー技術有限公司ハイエンドの先端材料、材料および技術の生産および販売に焦点を当てたハイテク企業です。含むグラファイト、炭化ケイ素、セラミックス、表面処理など。製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などで広く使用されています。
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