半導体産業用の再結晶炭化ケイ素クリスタルボート

簡単な説明:

VET Energy 再結晶炭化ケイ素クリスタル ボートは、長期間にわたって一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計された高性能製品です。非常に優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐浸食性を備えており、ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。


製品の詳細

製品タグ

再結晶炭化ケイ素の性質

再結晶炭化ケイ素(R-SiC)は、2000℃以上の高温で生成されるダイヤモンドに次ぐ硬度を持つ高性能素材です。高温強度、強力な耐食性、優れた耐酸化性、優れた耐熱衝撃性など、SiC の多くの優れた特性を保持しています。

●機械的特性に優れています。再結晶炭化ケイ素は炭素繊維よりも強度と剛性が高く、耐衝撃性が高く、極端な温度環境でも優れた性能を発揮し、さまざまな状況で優れたカウンターバランス性能を発揮します。また、柔軟性にも優れており、伸ばしたり曲げたりしても傷みにくいため、性能が大幅に向上します。

●耐食性に優れています。再結晶炭化ケイ素は、さまざまな媒体に対する高い耐食性を持ち、さまざまな腐食性媒体の浸食を防止でき、機械的特性を長期間維持でき、付着力が強いため、寿命が長くなります。さらに、熱安定性にも優れており、一定範囲の温度変化に適応し、塗布効果を向上させます。

●焼結により収縮しません。焼結法では収縮しないため残留応力による変形や割れが発生せず、複雑な形状の部品を高精度に作製することができます。

IMG_9497
IMG_9503

重結晶炭化硅の物理的特性

再結晶炭化ケイ素の物性

性质 / 財産

典型的な数値 / 標準値

使用温度/ 使用温度(℃)

1600℃(酸素あり)、1700℃(還元雰囲気)

SiC含有量/SiC含有量

> 99.96%

自由Si含有量/ 無料のSiコンテンツ

< 0.1%

体密度/かさ密度

2.60~2.70g/cm3

通気率/ 見かけの気孔率

< 16%

耐圧強度/ 圧縮強度

> 600MPa

常温耐弯强度/冷間曲げ強度

80~90MPa(20℃)

高温耐性强度熱間曲げ強度

90~100MPa(1400℃)

熱膨張胀系数/ 熱膨張 @1500°C

4.70 10-6/℃

导熱系数/熱伝導率 @1200°C

23W/m・K

杨氏模量/ 弾性率

240GPa

耐熱震性/ 耐熱衝撃性

非常に良い

VET Energy は、CVD コーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の本物のメーカーであり、半導体および太陽光発電産業向けにさまざまなカスタマイズされた部品を供給できます。当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から来ており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを開発し続けており、コーティングと基材の間の結合をより強固にし、剥離しにくくすることができる独自の特許技術を開発しました。

私たちの工場を訪問することを温かく歓迎します、さらなる議論をしましょう!

研発团队

 

生设备

 

公司客户

 


  • 前の:
  • 次:

  • WhatsAppオンラインチャット!