SiCコーティング

VET ENERGY、中国のCVD SICコーティングの大手メーカー

材料が未来を変える

炭化ケイ素 (SiC) は新しい化合物半導体材料です。炭化ケイ素は、大きなバンドギャップ (シリコンの約 3 倍)、高い臨界電界強度 (シリコンの約 10 倍)、高い熱伝導率 (シリコンの約 3 倍) を持っています。次世代の重要な半導体材料です。 SiC コーティングは、半導体産業や太陽光発電で広く使用されています。特に、LED のエピタキシャル成長や Si 単結晶エピタキシーに使用されるサセプターには、SiC コーティングの使用が必要です。照明およびディスプレイ業界における LED の強い上昇傾向と半導体業界の活発な発展により、SiCコーティング品見通しは非常に良いです。

応用分野

製品の用途と性能製品の用途と用途

Si単結晶産業、GaN、AlN、サファイアおよびその他のMOCVDペデスタル。 -単結晶シリコンエピタキシャル成長用グラファイトベースコーティング

主な性能：高純度、耐侵食性、高熱伝導率、MOCVDプロセス、GaNエピタキシャル成長用グラファイトベースコーティング

高温耐性、低い熱膨張係数。

MOCVDサセプタ

単結晶シリコンエピタキシャルサセプタ

プラズマエッチングディスク

太陽光発電製品

半導体産業

太陽光発電

熱伝導率	250W/m°K	レーザーフラッシュ方式、RT
熱膨張 (CTE)	4.5×10^-6°K	室温～950 °C、シリカ膨張計
財産	価値	方法
密度	3.21g/cc	浮き浮きと寸法
比熱	0.66J/g°K	パルスレーザーフラッシュ
曲げ強度	450MPa560MPa	4点曲げ、RT4点曲げ、1300°
破壊靱性	2.94MPa・m1/2	マイクロインデント
硬度	2800	ビッカーズ、500g荷重
弾性率ヤング率	450GPa430GPa	4 ポイントベンド、RT4 ポイントベンド、1300 °C
粒度	2～10μm	SEM

図13

純度、SEM構造、厚さ分析SiCコーティング

CVDを使用したグラファイト上のSiCコーティングの純度は99.9995%にも達します。その構造は fcc です。グラファイト上にコーティングされた SiC フィルムは、XRD データ (図 1) に示されているように (111) 配向しており、その高い結晶品質を示しています。図2に示すように、SiC膜の厚さは非常に均一です。

CVD SiC薄膜のSEMデータ、結晶サイズは2~1Opm

図 2: SiC 膜の均一な厚さ

CVD SiC膜の結晶構造は面心立方構造であり、膜成長配向性は100%に近い

グラファイト上のベータSiC膜のSEMとXRD

単結晶シリコンエピタキシャルベース

製品の性能と用途の見通し。

炭化ケイ素（SiC）コーティングベースは、エピタキシー炉のコアコンポーネントである単結晶シリコンおよび GaN エピタキシーに最適なベースです。ベースは、大規模集積回路用の単結晶シリコンの重要な製造アクセサリです。高純度、耐高温性、耐食性、気密性など優れた材料特性を持っています。

製品の用途と使用方法

単結晶シリコンエピタキシャル成長用グラファイトベースコーティングAixtronマシンなどに適しています。コーティング厚さ：90〜150μm。ウェーハクレーターの直径は55mmです。

太陽光発電

GAupidpelitcubaetiaonnd

黒鉛るつぼコーティングストレートプル法による単結晶シリコンの場合

ストレートプル法による単結晶シリコン工業生産、三つの花びらのるつぼ高温軸受および均一熱伝導部品としてのフローチューブ、排ガス循環経路としての熱伝導部品、排ガス循環経路としてのフローチューブ

ヒータ, グラファイトプレート, グラファイトシリンダー、グラファイトシートおよびその他の形状部品

製品の特徴

高温耐性、耐食性、長寿命により、ウェーハの品質と生産量を向上させることができます。非常に低い熱膨張係数、高温耐性、高い耐摩耗性、優れた絶縁性、優れた化学的安定性を備え、屋外の可視光の透過性はほぼ紫 (赤) です。

私たちを選ぶ理由

プロフェッショナルな機器とチーム

クラス1000無塵作業場

*3000平方メートルを超える1000クラスの無塵作業場

*中国科学院の協力研究開発チーム

*特殊な生産および精密検査装置

*十分かつ高品質な生産能力

クイックサービス

注文前のタグについては、当社の専門営業チームが営業時間内であれば 50 ～ 100 分以内、営業時間外であれば 12 時間以内にお問い合わせに回答します。迅速かつプロフェッショナルな返答は、高効率で完璧なオプションを提供してクライアントを獲得するのに役立ちます。

注文実行段階では、当社の専門サービスチームが 3 ～ 5 日ごとに写真を撮り、生産状況の直接情報を更新し、出荷の進捗状況を更新するための文書を 36 時間以内に提供します。アフターサービスにも細心の注意を払っております。

販売後の段階では、当社のサービスチームは常にお客様と緊密に連絡を取り合い、常にお客様のサービスを待機しています。当社のプロフェッショナルなアフターサービスには、現場での問題解決を支援するフライングエンジニアも含まれています。当社の保証は納品後12ヶ月です。

梱包詳細

寧波 VET Energy Technology Co., Ltd は、特に新しい半導体材料の開発と SiC コーティングの研究開発に重点を置いたグラファイト部品の専門メーカーです。同社の主力製品は、LED産業および単結晶シリコン産業向けのSiCコーティングサセプターです。 LED産業や単結晶シリコン産業で使用されているSiC膜は、ダイヤモンドと同じ格子構造を持つ立方晶相であり、その硬度はダイヤモンドと同程度です。炭化ケイ素は最も成熟したワイドバンドギャップ半導体材料であり、半導体産業において幅広い応用の可能性を秘めています。また、炭化珪素は熱伝導率が高く、熱膨張係数が小さく、高温耐性（約2700℃）、耐食性にも優れています。同社の炭化ケイ素コーティング製品は、航空宇宙、太陽光発電産業、原子力エネルギー、高速鉄道、自動車、その他の産業でも広く使用されています。

よくある質問

最低注文数量はありますか?

はい、すべての海外からの注文には継続的な最小注文数量を設定する必要があります。

関連する書類を提供していただけますか?

はい、分析証明書/適合性証明書を含むほとんどの文書を提供できます。保険;原産地および必要に応じてその他の輸出書類。

平均リードタイムはどれくらいですか?

サンプルの場合、納期は約7日となります。大量生産の場合、リードタイムはデポジットの支払いを受け取ってから15〜25日です。リードタイムは、お客様からの入金を受領し、お客様から製品の最終承認が得られた時点で有効になります。どのような場合でも、お客様のニーズに対応できるよう努めます。ほとんどの場合、それが可能です。

どのような支払い方法を利用できますか?

弊社の銀行口座、Western Union または PayPal でお支払いいただけます。
30％の事前デポジット、出荷前またはB/Lのコピーに対して70％の残高。

製品保証とは何ですか?

当社は素材と仕上がりを保証します。当社の取り組みは、お客様に当社の製品にご満足いただくことです。保証の有無に関わらず、すべての顧客の問題に対処し、全員が満足できるよう解決することが当社の文化です。

商品の安全・安心な配送は保証されますか？

はい、私たちは常に高品質の輸出用梱包材を使用しています。また、危険品には専門の危険物梱包を使用し、温度に敏感な商品には認定された冷蔵配送業者を使用します。専門的な梱包および標準以外の梱包要件には追加料金が発生する場合があります。

送料はどうなりますか？

送料は選択した商品の受け取り方法によって異なります。通常、エクスプレスは最も早い方法ですが、最も高価な方法でもあります。大量の場合は船便が最適です。正確な運賃は、金額、重量、方法の詳細がわかっている場合にのみ提供できます。詳細についてはお問い合わせください。