vet-China מבטיחה שכל עמידמשוט לטיפול בפריקת סיליקון קרבידבעל ביצועים ועמידות מצוינים. ההנעה לטיפול פרוסות סיליקון קרביד משתמשת בתהליכי ייצור מתקדמים כדי להבטיח שהיציבות המבנית והפונקציונליות שלה יישארו בטמפרטורה גבוהה ובסביבות קורוזיה כימיות. עיצוב חדשני זה מספק תמיכה מצוינת לטיפול בפרוסות מוליכים למחצה, במיוחד עבור פעולות אוטומטיות ברמת דיוק גבוהה.
משוט שלוחה SiCהוא רכיב מיוחד המשמש בציוד לייצור מוליכים למחצה כגון תנור חמצון, תנור דיפוזיה ותנור חישול, השימוש העיקרי הוא להעמסה ופריקה של פרוסות, תומך ומוביל פרוסות במהלך תהליכים בטמפרטורה גבוהה.
מבנים נפוציםשֶׁלSiCcנגד ידיתpאדל: מבנה שלוחה, קבוע בקצה אחד וחופשי בקצה השני, יש בדרך כלל עיצוב שטוח ודמוי משוט.
עובדpעקרוןשֶׁלSiCcנגד ידיתpאדל:
ההנעה שלוחה יכולה לנוע למעלה ולמטה או קדימה ואחורה בתוך תא התנור, ניתן להשתמש בה כדי להעביר פרוסות מאזורי טעינה לאזורי עיבוד, או מחוץ לאזורי עיבוד, לתמוך ולייצוב פרוסות במהלך עיבוד בטמפרטורה גבוהה.
| תכונות פיזיקליות של סיליקון קרביד מחדש | |
| נֶכֶס | ערך אופייני |
| טמפרטורת עבודה (°C) | 1600 מעלות צלזיוס (עם חמצן), 1700 מעלות צלזיוס (סביבה מפחיתה) |
| תוכן SiC | > 99.96% |
| תוכן Si בחינם | < 0.1% |
| צפיפות נפח | 2.60-2.70 גרם/ס"מ3 |
| נקבוביות לכאורה | < 16% |
| חוזק דחיסה | > 600 MPa |
| חוזק כיפוף קר | 80-90 MPa (20°C) |
| חוזק כיפוף חם | 90-100 MPa (1400°C) |
| התפשטות תרמית @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| מוליכות תרמית @1200°C | 23 W/m•K |
| מודול אלסטי | 240 GPa |
| עמידות בפני זעזועים תרמיים | טוב במיוחד |
