המתקדםמשוט שלוחה SiCfor Wafer Processing שנוצר על ידי vet-china מספק פתרון מצוין לייצור מוליכים למחצה. משוט שלוחה זה עשוי מחומר SiC (סיליקון קרביד), וקשיותו הגבוהה ועמידות החום מאפשרים לו לשמור על ביצועים מצוינים בטמפרטורה גבוהה ובסביבות קורוזיביות. העיצוב של ההנעה Cantilever מאפשר לתמוך בצורה מהימנה לפרוסה במהלך העיבוד, מה שמפחית את הסיכון של פיצול ונזק.
משוט שלוחה SiCהוא רכיב מיוחד המשמש בציוד לייצור מוליכים למחצה כגון תנור חמצון, תנור דיפוזיה ותנור חישול, השימוש העיקרי הוא להעמסה ופריקה של פרוסות, תומך ומוביל פרוסות במהלך תהליכים בטמפרטורה גבוהה.
מבנים נפוציםשֶׁלSiCcנגד ידיתpאדל: מבנה שלוחה, קבוע בקצה אחד וחופשי בקצה השני, יש בדרך כלל עיצוב שטוח ודמוי משוט.
VET Energy משתמש בחומרי סיליקון קרביד מגובשים בטוהר גבוה כדי להבטיח את האיכות.
| תכונות פיזיקליות של סיליקון קרביד מחדש | |
| נֶכֶס | ערך אופייני |
| טמפרטורת עבודה (°C) | 1600 מעלות צלזיוס (עם חמצן), 1700 מעלות צלזיוס (סביבה מפחיתה) |
| תוכן SiC | > 99.96% |
| תוכן Si בחינם | < 0.1% |
| צפיפות נפח | 2.60-2.70 גרם/ס"מ3 |
| נקבוביות לכאורה | < 16% |
| חוזק דחיסה | > 600MPa |
| חוזק כיפוף קר | 80-90 MPa (20°C) |
| חוזק כיפוף חם | 90-100 MPa (1400°C) |
| התפשטות תרמית @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| מוליכות תרמית @1200°C | 23W/m•K |
| מודול אלסטי | 240 GPa |
| עמידות בפני זעזועים תרמיים | טוב במיוחד |
היתרונות של ההנעה המתקדמת SiC Cantilever עבור עיבוד פרוסות של VET Energy הם:
-יציבות טמפרטורה גבוהה: ניתן לשימוש בסביבות מעל 1600 מעלות צלזיוס;
-מקדם התפשטות תרמית נמוך: שומר על יציבות ממדית, מפחית את הסיכון לעיוות רקיק;
-טוהר גבוה: סיכון נמוך יותר לזיהום מתכת;
-אינרטיות כימית: עמיד בפני קורוזיה, מתאים לסביבות גז שונות;
-חוזק וקשיות גבוהים: עמיד בפני שחיקה, חיי שירות ארוכים;
-מוליכות תרמית טובה: מסייעת בחימום רקיק אחיד.
