כיצד לנקות סירת גרפיט PECVD？| VET Energy

1. אישור לפני הניקוי

1) כאשר הסירת גרפיט PECVD/מנשא נמצא בשימוש יותר מ-100 עד 150 פעמים, המפעיל צריך לבדוק את מצב הציפוי בזמן. אם יש ציפוי חריג, יש לנקות אותו ולאשר אותו. צבע הציפוי הרגיל של רקיקת הסיליקון בסירת/מנשא הגרפיט הוא כחול. אם לפרוסה יש לא כחול, צבעים מרובים, או שהפרש הצבעים בין הפרוסים גדול, מדובר בציפוי לא תקין, ויש לאשר את הגורם לאנורמליות בזמן.
2) לאחר התהליך צוות מנתח את מצב הציפוי שלסירת גרפיט PECVD/מוביל, הם יקבעו האם יש לנקות את סירת הגרפיט והאם יש להחליף את נקודת הכרטיס, וסירת הגרפיט/מנשא שיש לנקות תימסר לצוות הציוד לניקוי.

 

3) לאחר הסירת גרפיט/הספק ניזוק, אנשי הייצור יוציאו את כל פרוסות הסיליקון בסירת הגרפיט וישתמשו ב-CDA (אוויר דחוס) כדי למיין את השברים ב-סירת גרפיט. לאחר השלמתו, צוות הציוד יעלה אותו לתוך מיכל החומצה שהוכן עם שיעור מסוים של תמיסת HF לניקוי.

 

2. ניקוי סירת גרפיט

מומלץ להשתמש בתמיסת חומצה הידרופלואורית 15-25% לשלושה סבבי ניקוי, כל אחד למשך 4-5 שעות, ובעבוע חנקן מעת לעת בתהליך ההשריה והניקוי, בהוספת כחצי שעה של ניקוי; הערה: לא מומלץ להשתמש באוויר ישירות כמקור הגז לבעבוע. לאחר הכבישה יש לשטוף במים טהורים למשך כ-10 שעות, ולוודא כי הסירה נוקתה היטב. לאחר הניקוי, אנא בדוק את פני הסירה, נקודת כרטיס הגרפיט ומפרק יריעת הסירה וחלקים אחרים כדי לראות אם יש שאריות סיליקון ניטריד. לאחר מכן יבש בהתאם לדרישות.

3. אמצעי זהירות לניקוי

א) מאחר וחומצת HF היא חומר מאכל מאוד ובעל תנודות מסוימת, היא מסוכנת למפעילים. לכן, על מפעילי עמדת הניקיון לנקוט באמצעי בטיחות ולהיות מנוהלים על ידי אדם מסור.

ב) מומלץ לפרק את הסירה ולנקות רק את חלק הגרפיט במהלך הניקוי, על מנת שניתן יהיה לנקות כל חלק מגע בצורה יסודית יותר. נכון לעכשיו, יצרנים ביתיים רבים משתמשים בניקוי כולל, וזה נוח, אך מכיוון שחומצת HF מאכלת חלקים קרמיים, ניקוי כולל יקצר את חיי השירות של החלקים המתאימים.