crogiolo composito carbonio-carbonio in carburo di silicio, processo di rivestimento cvd

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Compositi carbonio/carbonio(di seguito denominato “C/C o CFC”) è un tipo di materiale composito a base di carbonio e rinforzato con fibra di carbonio e suoi prodotti (preformato in fibra di carbonio). Ha sia l'inerzia del carbonio che l'elevata resistenza della fibra di carbonio. Ha buone proprietà meccaniche, resistenza al calore, resistenza alla corrosione, smorzamento dell'attrito e caratteristiche di conduttività termica ed elettrica

CVD-SiCil rivestimento ha le caratteristiche di struttura uniforme, materiale compatto, resistenza alle alte temperature, resistenza all'ossidazione, elevata purezza, resistenza agli acidi e agli alcali e reagente organico, con proprietà fisiche e chimiche stabili.

Rispetto ai materiali in grafite ad elevata purezza, la grafite inizia a ossidarsi a 400°C, causando una perdita di polvere dovuta all'ossidazione, con conseguente inquinamento ambientale dei dispositivi periferici e delle camere a vuoto e aumento delle impurità dell'ambiente ad elevata purezza.

Tuttavia, il rivestimento SiC può mantenere la stabilità fisica e chimica a 1600 gradi. È ampiamente utilizzato nell'industria moderna, in particolare nell'industria dei semiconduttori.

La nostra azienda fornisce servizi di processo di rivestimento SiC con metodo CVD sulla superficie di grafite, ceramica e altri materiali, in modo che gas speciali contenenti carbonio e silicio reagiscano ad alta temperatura per ottenere molecole SiC di elevata purezza, molecole depositate sulla superficie dei materiali rivestiti, formando lo strato protettivo SIC. Il SIC formato è saldamente legato alla base di grafite, conferendo alla base di grafite proprietà speciali, rendendo così la superficie della grafite compatta, priva di porosità, resistente alle alte temperature, alla corrosione e all'ossidazione.

 Lavorazione del rivestimento SiC su suscettori MOCVD con superficie in grafite

Caratteristiche principali:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura:

la resistenza all'ossidazione è ancora molto buona anche quando la temperatura arriva fino a 1600 C.

2. Elevata purezza: prodotto mediante deposizione di vapori chimici in condizioni di clorazione ad alta temperatura.

3. Resistenza all'erosione: elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.

4. Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.

 

Specifiche principali dei rivestimenti CVD-SIC:

SiC-CVD

Densità

(g/cc)

3.21

Resistenza alla flessione

(MPa)

470

Dilatazione termica

(10-6/K)

4

Conduttività termica

(W/mK)

300

Immagini dettagliate

Lavorazione del rivestimento SiC su suscettori MOCVD con superficie in grafiteLavorazione del rivestimento SiC su suscettori MOCVD con superficie in grafiteLavorazione del rivestimento SiC su suscettori MOCVD con superficie in grafiteLavorazione del rivestimento SiC su suscettori MOCVD con superficie in grafiteLavorazione del rivestimento SiC su suscettori MOCVD con superficie in grafite

Informazioni aziendali

111

Attrezzature di fabbrica

222

Magazzino

333

Certificazioni

Certificazioni22

 


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