Il materiale preferito per le parti di precisione delle macchine fotolitografiche. Nel campo dei semiconduttori, i materiali ceramici al carburo di silicio vengono utilizzati principalmente in apparecchiature chiave per la produzione di circuiti integrati, come piani di lavoro in carburo di silicio, binari di guida, riflettori, ventose in ceramica, bracci, ...
Per saperne di più