Le principali funzioni dibarca in carburo di silicioil supporto e il supporto della barca al quarzo sono gli stessi.Barchetta in carburo di silicioil supporto ha prestazioni eccellenti ma prezzo elevato. Costituisce una relazione alternativa con il supporto della barca al quarzo nelle apparecchiature per il trattamento delle batterie con condizioni di lavoro difficili (come apparecchiature LPCVD e apparecchiature per la diffusione del boro). Nelle apparecchiature per il trattamento delle batterie con condizioni di lavoro ordinarie, a causa dei rapporti di prezzo, il supporto per barche in carburo di silicio e quarzo diventa categorie coesistenti e concorrenti.
① Rapporto di sostituzione nell'LPCVD e nelle apparecchiature per la diffusione del boro
L'attrezzatura LPCVD viene utilizzata per l'ossidazione tunneling delle celle della batteria e il processo di preparazione dello strato di polisilicio drogato. Principio di funzionamento:
In atmosfera a bassa pressione, combinata con una temperatura adeguata, si ottengono la reazione chimica e la formazione di film di deposizione per preparare uno strato di ossido tunneling ultrasottile e un film di polisilicio. Nel processo di ossidazione tunneling e preparazione dello strato di polisilicio drogato, il supporto della barca ha una temperatura di esercizio elevata e sulla superficie verrà depositato un film di silicio. Il coefficiente di dilatazione termica del quarzo è molto diverso da quello del silicio. Quando utilizzato nel processo di cui sopra, è necessario decapare e rimuovere regolarmente il silicio depositato sulla superficie per evitare che il supporto della barchetta in quarzo si rompa a causa della dilatazione e contrazione termica dovuta al diverso coefficiente di dilatazione termica rispetto al silicio. A causa del frequente decapaggio e della bassa resistenza alle alte temperature, il supporto della barchetta in quarzo ha una vita breve e viene spesso sostituito nel processo di ossidazione a tunnel e di preparazione dello strato di polisilicio drogato, il che aumenta significativamente il costo di produzione della cella della batteria. Il coefficiente di espansione dicarburo di silicioè vicino a quello del silicio. L'integratobarca in carburo di silicioil supporto non richiede decapaggio nel processo di ossidazione a tunnel e di preparazione dello strato di polisilicio drogato. Ha un'elevata resistenza alle alte temperature e una lunga durata. È una buona alternativa al supporto per barca al quarzo.
Le apparecchiature di espansione del boro vengono utilizzate principalmente per il processo di drogaggio degli elementi di boro sul substrato del wafer di silicio di tipo N della cella della batteria per preparare l'emettitore di tipo P a formare una giunzione PN. Il principio di funzionamento è quello di realizzare la reazione chimica e la formazione di film di deposizione molecolare in un'atmosfera ad alta temperatura. Dopo che la pellicola si è formata, può essere diffusa mediante riscaldamento ad alta temperatura per realizzare la funzione di drogaggio della superficie del wafer di silicio. A causa dell'elevata temperatura di esercizio dell'apparecchiatura di espansione del boro, il supporto per barchetta al quarzo ha una bassa resistenza alle alte temperature e una breve durata di servizio dell'apparecchiatura di espansione del boro. L'integratobarca in carburo di silicioil supporto ha un'elevata resistenza alle alte temperature ed è una buona alternativa al supporto per barchetta al quarzo nel processo di espansione del boro.
② Rapporto di sostituzione in altre apparecchiature di processo
I supporti per imbarcazioni in SiC hanno una capacità produttiva ridotta e prestazioni eccellenti. Il loro prezzo è generalmente superiore a quello dei supporti per barche in quarzo. Nelle condizioni di lavoro generali delle apparecchiature per il trattamento delle celle, la differenza nella durata di servizio tra i supporti della barca in SiC e i supporti della barca in quarzo è piccola. I clienti a valle confrontano e scelgono principalmente tra prezzo e prestazioni in base ai propri processi e alle proprie esigenze. I supporti per barche in SiC e i supporti per barche in quarzo sono diventati coesistenti e competitivi. Tuttavia, il margine di profitto lordo dei supporti per imbarcazioni in SiC è attualmente relativamente elevato. Con il calo del costo di produzione dei supporti per barche in SiC, se il prezzo di vendita dei supporti per barche in SiC diminuisce attivamente, ciò comporterà anche una maggiore competitività per i supporti per barche in quarzo.
Rapporto di utilizzo
Il percorso della tecnologia cellulare è principalmente la tecnologia PERC e la tecnologia TOPCon. La quota di mercato della tecnologia PERC è dell'88% e la quota di mercato della tecnologia TOPCon è dell'8,3%. La quota di mercato combinata dei due è del 96,30%.
Come mostrato nella figura seguente:
Nella tecnologia PERC, i supporti delle barche sono necessari per i processi di diffusione e ricottura del fosforo anteriore. Nella tecnologia TOPCon, i supporti per barche sono necessari per i processi di diffusione frontale del boro, LPCVD, diffusione posteriore del fosforo e ricottura. Attualmente, i supporti per imbarcazioni in carburo di silicio vengono utilizzati principalmente nel processo LPCVD della tecnologia TOPCon e la loro applicazione nel processo di diffusione del boro è stata principalmente verificata.
Figura Applicazione dei supporti della barca nel processo di lavorazione delle celle
Nota: dopo il rivestimento anteriore e posteriore delle tecnologie PERC e TOPCon, ci sono ancora collegamenti come serigrafia, sinterizzazione, test e selezione, che non comportano l'uso di supporti per barche e non sono elencati nella figura sopra.
Orario di pubblicazione: 15 ottobre 2024