Barchetta per wafer in carburo di silicio ricristallizzato di grandi dimensioni

Breve descrizione:

Il wafer boat in carburo di silicio ricristallizzato VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Ha un'ottima resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che lo rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.


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La barca per wafer in carburo di silicio è un dispositivo portante per wafer, utilizzato principalmente nei processi di diffusione solare e di semiconduttori. Ha caratteristiche come resistenza all'usura, resistenza alla corrosione, resistenza agli urti ad alta temperatura, resistenza al bombardamento di plasma, capacità portante alle alte temperature, elevata conduttività termica, elevata dissipazione del calore e uso a lungo termine che non è facile da piegare e deformare. La nostra azienda utilizza materiale in carburo di silicio di elevata purezza per garantire la durata e fornisce progetti personalizzati, tra cui vari wafer boat verticali e orizzontali.

Scheda materiale

材料Materiale R-SiC
使用温度Temperatura di lavoro (°C) 1600°C ( 氧化气氛Ambiente ossidante)1700°C ( 还原气氛Ambiente riducente)
Contenuto di SiC含量SiC (%) >99
自由Si 含量Contenuto Si gratuito (%) <0,1
体积密度Densità apparente (g/cm3) 2,60-2,70
气孔率Porosità apparente (%) <16
抗压强度Resistenza allo schiacciamento (MPa) >600
常温抗弯强度Resistenza alla flessione a freddo (MPa) 80-90 (20°C)
高温抗弯强度Resistenza alla flessione a caldo (MPa) 90-100 (1400°C)
热膨胀系数Coefficiente di dilatazione termica @1500°C (10-6/°C) 4,70
导热系数Conducibilità termica @1200°C (W/m•K) 23
杨氏模量Modulo elastico (GPa) 240
抗热震性Resistenza agli shock termici okEstremamente buono

 

barca per wafer

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltdè un'impresa high-tech focalizzata sulla produzione e vendita di materiali avanzati di fascia alta, materiali e tecnologiacompresografite, carburo di silicio, ceramica, trattamento superficiale e così via. I prodotti sono ampiamente utilizzati nel fotovoltaico, nei semiconduttori, nelle nuove energie, nella metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornire soluzioni materiali più professionaliper te.

Un caloroso benvenuto a visitare la nostra fabbrica, discutiamo ulteriormente!

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