La barca per wafer in carburo di silicio è un dispositivo portante per wafer, utilizzato principalmente nei processi di diffusione solare e di semiconduttori. Ha caratteristiche come resistenza all'usura, resistenza alla corrosione, resistenza agli urti ad alta temperatura, resistenza al bombardamento di plasma, capacità portante alle alte temperature, elevata conduttività termica, elevata dissipazione del calore e uso a lungo termine che non è facile da piegare e deformare. La nostra azienda utilizza materiale in carburo di silicio di elevata purezza per garantire la durata e fornisce progetti personalizzati, tra cui vari wafer boat verticali e orizzontali.
Scheda materiale
材料Materiale | R-SiC |
使用温度Temperatura di lavoro (°C) | 1600°C ( 氧化气氛Ambiente ossidante)1700°C ( 还原气氛Ambiente riducente) |
Contenuto di SiC含量SiC (%) | >99 |
自由Si 含量Contenuto Si gratuito (%) | <0,1 |
体积密度Densità apparente (g/cm3) | 2,60-2,70 |
气孔率Porosità apparente (%) | <16 |
抗压强度Resistenza allo schiacciamento (MPa) | >600 |
常温抗弯强度Resistenza alla flessione a freddo (MPa) | 80-90 (20°C) |
高温抗弯强度Resistenza alla flessione a caldo (MPa) | 90-100 (1400°C) |
热膨胀系数Coefficiente di dilatazione termica @1500°C (10-6/°C) | 4,70 |
导热系数Conducibilità termica @1200°C (W/m•K) | 23 |
杨氏模量Modulo elastico (GPa) | 240 |
抗热震性Resistenza agli shock termici | okEstremamente buono |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltdè un'impresa high-tech focalizzata sulla produzione e vendita di materiali avanzati di fascia alta, materiali e tecnologiacompresografite, carburo di silicio, ceramica, trattamento superficiale e così via. I prodotti sono ampiamente utilizzati nel fotovoltaico, nei semiconduttori, nelle nuove energie, nella metallurgia, ecc.
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