dýralæknir-kína tryggir að sérhver VaranlegurMeðhöndlunarpaddle úr kísilkarbíðskúffuhefur framúrskarandi frammistöðu og endingu. Þessi kísilkarbíðskífa meðhöndlunarspaði notar háþróaða framleiðsluferla til að tryggja að burðarvirki og virkni hans haldist í háhita og efnatæringarumhverfi. Þessi nýstárlega hönnun veitir framúrskarandi stuðning við meðhöndlun hálfleiðaraþilja, sérstaklega fyrir sjálfvirkar aðgerðir með mikilli nákvæmni.
SiC Cantilever paddleer sérhæfður íhlutur sem notaður er í hálfleiðara framleiðslubúnaði eins og oxunarofni, dreifingarofni og glæðingarofni, aðalnotkunin er til hleðslu og affermingar á oblátum, styður og flytur oblátur við háhitaferli.
Sameiginleg mannvirkiafSiCclyftistöngpaddle: burðarvirki, fest í annan endann og laus á hinum, hefur venjulega flata og paddle-eins hönnun.
Að vinnapmeginregluafSiCclyftistöngpaddle:
Hægt er að hreyfa sig upp og niður eða fram og til baka innan ofnhólfsins, það er hægt að nota til að færa oblátur frá hleðslusvæðum til vinnslusvæða, eða út úr vinnslusvæðum, styðja og stöðugleika obláta við háhitavinnslu.
| Eðliseiginleikar endurkristallaðs kísilkarbíðs | |
| Eign | Dæmigert gildi |
| Vinnuhitastig (°C) | 1600°C (með súrefni), 1700°C (minnkandi umhverfi) |
| SiC innihald | > 99,96% |
| Ókeypis Si efni | < 0,1% |
| Magnþéttleiki | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Augljóst porosity | < 16% |
| Þjöppunarstyrkur | > 600 MPa |
| Kaldur beygjustyrkur | 80-90 MPa (20°C) |
| Heitt beygjustyrkur | 90-100 MPa (1400°C) |
| Hitaþensla @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Varmaleiðni @1200°C | 23 W/m•K |
| Teygjustuðull | 240 GPa |
| Hitaáfallsþol | Einstaklega gott |
