Grafít undirlag/burðarefni með kísilkarbíðhúð fyrir hálfleiðara

Stutt lýsing:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor er hágæða vara sem er hönnuð til að veita stöðuga og áreiðanlega afköst yfir langan tíma. Það hefur frábæra hitaþol og hitauppstreymi einsleitni, hár hreinleika, rofþol, sem gerir það að fullkominni lausn fyrir oblátavinnsluforrit.

Upprunastaður:Zhejiang, Kína (meginland)

Gerðarnúmer:Bátur 3004

Efnasamsetning:SiC húðað grafít

Sveigjanleiki:470Mpa

Varmaleiðni:300 W/mK

Gæði:Fullkomið

Virkni:CVD-SiC

Umsókn:Hálfleiðari/ljósvökvi

Þéttleiki:3,21 g/cc

Hitastækkun:4 10-6/K

Ash: <5 ppm

Dæmi:Í boði

HS kóða:6903100000

Sendu tölvupóst til okkar Sækja sem PDF

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

SiC húðaður grafít susceptor er lykilþáttur sem notaður er í ýmsum hálfleiðara framleiðsluferlum. við notum einkaleyfisverndaða tækni okkar til að búa til susceptor með mjög miklum hreinleika, góða einsleitni húðunar og framúrskarandi endingartíma, auk mikillar efnaþols og hitastöðugleika.

Eiginleikar vara okkar:

1. Oxunarþol við háan hita allt að 1700 ℃.
2. Hár hreinleiki og hitauppstreymi einsleitni
3. Framúrskarandi tæringarþol: sýra, basa, salt og lífræn hvarfefni.
4. Hár hörku, samningur yfirborð, fínar agnir.
5. Lengri endingartími og varanlegur

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundvallar eðliseiginleikar CVD SiChúðun
性质 / Eign	典型数值 / Dæmigert gildi
晶体结构 / Kristallsbygging	FCC β fasi多晶，主要为（111）取向
密度 / Þéttleiki	3,21 g/cm³
硬度 / Harka	2500 维氏硬度（500g álag）
晶粒大小 / Kornastærð	2~10μm
纯度 / Chemical Purity	99,99995%
热容 / Hitageta	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimation Hitastig	2700 ℃
抗弯强度 / Beygjustyrkur	415 MPa RT 4 punkta
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt beygja, 1300 ℃
导热系数 / ThermalLeiðni	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Hitastækkun (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy er raunverulegur framleiðandi sérsniðinna grafít- og kísilkarbíðvara með mismunandi húðun eins og SiC húðun, TaC húðun, glerkenndri kolefnishúð, hitahreinsandi kolefnishúð o.s.frv., Getur útvegað ýmsa sérsniðna hluta fyrir hálfleiðara- og ljósavirkjaiðnað.

Tækniteymi okkar kemur frá efstu innlendum rannsóknarstofnunum, getur veitt faglegri efnislausnir fyrir þig.

Við þróum stöðugt háþróaða ferla til að útvega fullkomnari efni og höfum unnið að einkaleyfisbundinni tækni sem getur gert tengingu milli húðunar og undirlags þéttari og minna tilhneigingu til að losna.

Verið hjartanlega velkomin að heimsækja verksmiðjuna okkar, við skulum hafa frekari umræður!