Hvernig á að þrífa PECVD grafítbát？| VET Orka

1. Viðurkenning fyrir hreinsun

1) ÞegarPECVD grafít bátur/ burðarefni er notað meira en 100 til 150 sinnum, rekstraraðili þarf að athuga ástand húðunar í tíma. Ef það er óeðlileg húðun þarf að þrífa hana og staðfesta. Venjulegur húðunarlitur kísilskúffunnar í grafítbátnum/fararanum er blár. Ef diskurinn hefur ekki bláa, marga liti, eða litamunurinn á milli diskanna er mikill, er það óeðlileg húðun og þarf að staðfesta orsök fráviksins í tíma.
2) Eftir ferlið greina starfsfólk húðunarástandsinsPECVD grafít bátur/carrier ákveða þeir hvort grafítbáturinn þurfi að þrífa og hvort skipta þurfi um kortapunkt og grafítbáturinn/carrierinn sem þarf að þrífa verður afhentur starfsfólki búnaðarins til hreinsunar.

 

3) Eftirgrafít bátur/flutningsaðili er skemmdur mun framleiðslufólkið taka út allar kísilskífurnar í grafítbátnum og nota CDA (þjappað loft) til að flokka brotin ígrafít bátur. Að því loknu mun starfsfólk búnaðarins lyfta því upp í sýrutankinn sem hefur verið útbúinn með ákveðnu hlutfalli af HF lausn til hreinsunar.

 

2. Þrif á grafítbát

Mælt er með því að nota 15-25% flúorsýrulausn í þrjár umferðir af hreinsun, hverja í 4-5 klukkustundir, og reglulega kúla köfnunarefni í bleyti og hreinsunarferli, bæta við um hálftíma hreinsun; athugið: ekki er mælt með því að nota loft beint sem gasgjafa fyrir loftbólur. Eftir súrsun skal skola með hreinu vatni í um það bil 10 klukkustundir og staðfesta að báturinn hafi verið vandlega hreinsaður. Eftir hreinsun, vinsamlegast athugaðu yfirborð bátsins, grafítkortspunktinn og bátsplötuna og aðra hluta til að sjá hvort það sé kísilnítríð leifar. Þurrkaðu síðan í samræmi við kröfur.

3. Varúðarráðstafanir við hreinsun

A) Þar sem HF-sýra er mjög ætandi efni og hefur ákveðna rokgleika er hún hættuleg rekstraraðilum. Þess vegna verða rekstraraðilar á hreinsunarstöðinni að gera öryggisráðstafanir og vera stjórnað af sérstakri manneskju.

B) Mælt er með því að taka bátinn í sundur og þrífa aðeins grafíthlutann meðan á hreinsun stendur, þannig að hægt sé að þrífa hvern snertihluta betur. Sem stendur nota margir innlendir framleiðendur heildarþrif, sem er þægilegt, en vegna þess að HF-sýra er ætandi fyrir keramikhluta mun heildarþrif stytta endingartíma samsvarandi hluta.