The AdvancedSiC Cantilever paddlefyrir Wafer Processing búin til af vet-kína veitir frábæra lausn fyrir hálfleiðaraframleiðslu. Þessi cantilever paddle er úr SiC (kísilkarbíð) efni og mikil hörku hans og hitaþol gerir honum kleift að viðhalda framúrskarandi frammistöðu í háhita og ætandi umhverfi. Hönnun Cantilever Paddle gerir kleift að styðja við diskinn á áreiðanlegan hátt meðan á vinnslu stendur, sem dregur úr hættu á sundrun og skemmdum.
SiC Cantilever paddleer sérhæfður íhlutur sem notaður er í hálfleiðara framleiðslubúnaði eins og oxunarofni, dreifingarofni og glæðingarofni, aðalnotkunin er til hleðslu og affermingar á oblátum, styður og flytur oblátur við háhitaferli.
Sameiginleg mannvirkiafSiCclyftistöngpaddle: burðarvirki, fest í annan endann og laus á hinum, hefur venjulega flata og paddle-eins hönnun.
VET Energy notar endurkristölluð kísilkarbíðefni með miklum hreinleika til að tryggja gæði.
| Eðliseiginleikar endurkristallaðs kísilkarbíðs | |
| Eign | Dæmigert gildi |
| Vinnuhitastig (°C) | 1600°C (með súrefni), 1700°C (minnkandi umhverfi) |
| SiC innihald | > 99,96% |
| Ókeypis Si efni | < 0,1% |
| Magnþéttleiki | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Greinilega porosity | < 16% |
| Þjöppunarstyrkur | > 600MPa |
| Kaldur beygjustyrkur | 80-90 MPa (20°C) |
| Heitt beygjustyrkur | 90-100 MPa (1400°C) |
| Hitaþensla @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Varmaleiðni @1200°C | 23W/m•K |
| Teygjustuðull | 240 GPa |
| Hitaáfallsþol | Einstaklega gott |
Kostir VET Energy Advanced SiC Cantilever Paddle fyrir Wafer Processing eru:
-Stöðugleiki við háan hita: hægt að nota í umhverfi yfir 1600°C;
-Lágur varmaþenslustuðull: viðheldur víddarstöðugleika, dregur úr hættu á vafraskekkju;
-Mikill hreinleiki: minni hætta á málmmengun;
-Efnafræðileg tregða: tæringarþolinn, hentugur fyrir mismunandi gasumhverfi;
-Hástyrkur og hörku: Slitþolinn, langur endingartími;
-Góð hitaleiðni: hjálpar við samræmda upphitun á oblátum.
