Háþróaður SiC cantilever paddle fyrir oblátuvinnslu

The AdvancedSiC Cantilever paddlefyrir Wafer Processing búin til af vet-kína veitir frábæra lausn fyrir hálfleiðaraframleiðslu. Þessi cantilever paddle er úr SiC (kísilkarbíð) efni og mikil hörku hans og hitaþol gerir honum kleift að viðhalda framúrskarandi frammistöðu í háhita og ætandi umhverfi. Hönnun Cantilever Paddle gerir kleift að styðja við diskinn á áreiðanlegan hátt meðan á vinnslu stendur, sem dregur úr hættu á sundrun og skemmdum.

SiC Cantilever paddleer sérhæfður íhlutur sem notaður er í hálfleiðara framleiðslubúnaði eins og oxunarofni, dreifingarofni og glæðingarofni, aðalnotkunin er til hleðslu og affermingar á oblátum, styður og flytur oblátur við háhitaferli.

Sameiginleg mannvirkiafSiCclyftistöngpaddle: burðarvirki, fest í annan endann og laus á hinum, hefur venjulega flata og paddle-eins hönnun.

VET Energy notar endurkristölluð kísilkarbíðefni með miklum hreinleika til að tryggja gæði.