Kísilkarbíðhúðað grafít undirlag fyrir hálfleiðara, MOCVD susceptor

Stutt lýsing:

VET Energy SiC Coated Susceptor er afkastamikil vara sem er hönnuð til að veita stöðuga og áreiðanlega frammistöðu yfir langan tíma. Það hefur frábæra hitaþol og hitauppstreymi einsleitni, hár hreinleika, rofþol, sem gerir það að fullkominni lausn fyrir oblátavinnsluforrit.

Upprunastaður:Zhejiang, Kína (meginland)

Gerðarnúmer:Gerðarnúmer:

Efnasamsetning:SiC húðað grafít

Sveigjanleiki:470Mpa

Varmaleiðni:300 W/mK

Gæði:Fullkomið

Virkni:CVD-SiC

Umsókn:Hálfleiðari/ljósvökvi

Þéttleiki:3,21 g/cc

Hitastækkun:4 10-6/K

Ash: <5 ppm

Dæmi:Í boði

HS kóða:6903100000

Sendu tölvupóst til okkar Sækja sem PDF

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

VET Energy SiC húðaður susceptorer afkastamikil lausn sem er vandlega unnin til að skila áreiðanlegum, stöðugum afköstum yfir lengri líftíma, sem uppfyllir strangar kröfur hálfleiðaraframleiðslu. Þessi vara er með einstaklega hitaþol, yfirburða hitauppstreymi og mikinn hreinleika, og er tilvalin fyrir MOCVD obláta burðarefni og önnur skífuvinnsluforrit sem krefjast stöðugleika og nákvæmni. Öflugt rofþol þess gerir það að úrvalsvali fyrir umhverfi þar sem ending og efnaþol eru nauðsynleg.

OkkarSiC húðaður grafít susceptorstendur sem mikilvægur þáttur í hálfleiðara framleiðsluferlinu og nýtir sér einkaleyfistækni VET Energy til að ná afar miklum hreinleika, yfirburða einsleitni húðunar og ótrúlegum hitastöðugleika. Húðin eykur grafít undirlagið með mikilli efnaþol og verulega lengri endingartíma. Áhersla VET Energy á gæðum hefur leitt af sér SiC-húðaðan susceptor sem uppfyllir þróaðar þarfir grafítþráða burðarmarkaðarins og setur háan staðal fyrir SiC-húðað grafítviðurefni sem notað er íMOCVD ferlar.

Helstu eiginleikar SiC húðaðra susceptors:

1. Háhita oxunarþol:Þolir hitastig allt að 1700 ℃, sem gerir það hentugt fyrir erfiðar vinnsluaðstæður.

2. Hár hreinleiki og hitajafnleiki:Tryggir stöðugan árangur, mikilvægt fyrirMOCVD susceptorsog önnur nákvæmni forrit.

3. Framúrskarandi tæringarþol:Þolir sýru, basa, salti og ýmis lífræn hvarfefni.

4. Aukin yfirborðshörku:Fyrirferðarlítið yfirborð með fínum ögnum sem veita meiri endingu og langlífi.

5. Lengdur endingartími:Hannaður fyrir viðvarandi afköst, betri en staðlaðar kísilkarbíðhúðaðar susceptors í erfiðu vinnsluumhverfi.

Sem leiðandi framleiðandi sérhæfir VET Energy sig í sérsniðnu grafíti ogkísilkarbíð vörurmeð ýmsum húðunarmöguleikum, þar á meðalSiC húðun, TaC húðun, glerkennd kolefnishúð, og pyrolytic kolefnishúð. Við þjónum með stolti hálfleiðara- og ljósvakaiðnaðinum og afhendum kísilkarbíðhúðaða grafítviðtaka sem uppfylla sérstakar rekstrarkröfur.

Tækniteymi okkar, með reynslu frá fremstu innlendum rannsóknastofnunum, leggur áherslu á að efla efnislausnir fyrir vaxandi þarfirSiC-húðaður grafít susceptormarkaði. Í gegnum einkaleyfisverndað ferli okkar hefur VET Energy þróað einstaka tækni sem bætir verulega bindingarstyrk milli kísilkarbíðhúðarinnar og undirlagsins, dregur úr hættu á losun og eykur langtíma áreiðanleika.

Umsóknir og kostir í hálfleiðaravinnslu

TheSiC húðun fyrir MOCVDgerir kleiftgrafít susceptoríhlutir til að viðhalda heilleika undir háhita og ætandi umhverfi, sem er mikilvægt fyrir nákvæma hálfleiðaraframleiðslu. Þessir SiC-húðuðu grafíthlutar eru sérstaklega metnir í ferlum sem krefjast kísilkarbíðhúðaðra susceptors fyrirgrafít obláta burðarefni, sem krefjast mikils hitastöðugleika, hreinleika og viðnáms gegn efnarofi.

Með háþróaðri kísilkarbíðhúðunaraðferðum okkar heldur VET Energy áfram að styðja við markaðinn fyrir grafítskúffu með því að skila sérsniðnum, afkastamiklumSiC-húðuð grafítviðursem taka á sértækum áskorunum í iðnaði, allt frá MOCVD ferlum til háhreinleikaforrita á hálfleiðarasviðinu.