Ụdị Silicon Wafer nke 8 inch P nke sitere na VET Energy bụ silicon wafer na-arụ ọrụ dị elu emebere maka ọtụtụ ngwa semiconductor, gụnyere mkpụrụ ndụ anyanwụ, ngwaọrụ MEMS, na sekit jikọtara ọnụ. Amara maka njikwa ọkụ eletrik ya dị mma na ịrụ ọrụ na-agbanwe agbanwe, wafer a bụ nhọrọ kacha mma maka ndị na-emepụta ihe na-achọ imepụta akụrụngwa eletrọnịkị nke a pụrụ ịdabere na ya na nke ọma. VET Energy na-achọpụta ọkwa doping ziri ezi yana imecha elu dị elu maka imepụta ngwaọrụ kacha mma.
Ndị a 8 Inch P Type Silicon Wafers dakọtara na ihe dị iche iche dị ka SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, ma dabara adaba maka uto Epi Wafer, na-eme ka ọ dị mfe maka usoro nrụpụta semiconductor dị elu. A pụkwara iji wafers na ihe ndị ọzọ dị elu dị ka Gallium Oxide Ga2O3 na AlN Wafer, na-eme ka ha dị mma maka ngwa eletriki na-esote ọgbọ. Nhazi ha siri ike dabara na sistemụ dabere na Cassette, na-eme ka njikwa mmepụta nke ọma na nke dị elu.
VET Energy na-enye ndị ahịa ihe ngwọta wafer ahaziri iche. Anyị nwere ike hazie wafers dị iche iche resistivity, oxygen ọdịnaya, ọkpụrụkpụ, wdg dị ka ahịa 'kpọmkwem mkpa. Tụkwasị na nke ahụ, anyị na-enyekwa nkwado ọrụ ọkachamara ọkachamara na ọrụ ahịa mgbe ọ gasịrị iji nyere ndị ahịa aka dozie nsogbu dị iche iche zutere n'oge usoro mmepụta.
Nkọwapụta WAFERING
*n-Pm=n-ụdị Pm-Grade,n-Ps=n-ụdị Ps-Grade,Sl=Ọkara-lnsulating
Ihe | 8-anụ ọhịa | 6-anụ ọhịa | 4-anụ ọhịa | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Ụta(GF3YFCD)-Uru zuru oke | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) -10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
IMEcha elu ala
*n-Pm=n-ụdị Pm-Grade,n-Ps=n-ụdị Ps-Grade,Sl=Ọkara-lnsulating
Ihe | 8-anụ ọhịa | 6-anụ ọhịa | 4-anụ ọhịa | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Emecha elu elu | Akụkụ abụọ Optical Polish, Si- Face CMP | ||||
Ọdịdị elu | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
ibe ibe | Ọnweghị nke ekwenyere (ogologo na obosara≥0.5mm) | ||||
Indents | Ọnweghị nke ekwenyere | ||||
Scratches (Si-Ihu) | Qty.≤5,Nchịkọta | Qty.≤5,Nchịkọta | Qty.≤5,Nchịkọta | ||
Mgbawa | Ọnweghị nke ekwenyere | ||||
Mwepu ihu | 3mm |