4 Inch GaAs Wafer sitere na VET Energy bụ ihe dị mkpa maka ngwa ngwa ngwa na ngwa optoelectronic, gụnyere amplifiers RF, LEDs, na sel anyanwụ. A maara wafers ndị a maka ngagharị elektrọn ha dị elu na ikike ịrụ ọrụ n'ogo dị elu, na-eme ka ha bụrụ akụkụ dị mkpa na ngwa semiconductor dị elu. VET Energy na-eme ka wafers GaAs dị elu nwere oke nha yana ntụpọ pere mpe, dabara maka usoro nrụpụta dị iche iche.
Ndị a 4 Inch GaAs Wafers dakọtara na ihe dị iche iche semiconductor dị ka Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, na SiN Substrate, na-eme ka ha nwee ike ịbanye n'ime ụlọ ọrụ dị iche iche. Ma ejiri ya maka mmepụta Epi Wafer ma ọ bụ n'akụkụ ihe ndị na-egbu egbu dị ka Gallium Oxide Ga2O3 na AlN Wafer, ha na-enye ntọala a pụrụ ịdabere na ya maka ngwa eletriki na-esote. Tụkwasị na nke ahụ, wafers na-adaba na usoro nhazi nke dabeere na Cassette, na-eme ka ọrụ dị mma na nyocha na gburugburu ebe mmepụta ihe dị elu.
VET Energy na-enye pọtụfoliyo zuru oke nke mkpụrụ akụkụ semiconductor, gụnyere Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, na AlN Wafer. Ahịrị ngwaahịa anyị dị iche iche na-egbo mkpa ngwa eletrọnịkị dị iche iche, site na ngwa eletrọnịkị ruo RF na optoelectronics.
VET Energy na-enye wafers GaAs ahaziri ahazi iji mezuo ihe ị chọrọ, gụnyere ọkwa doping dị iche iche, nhazi, na imecha elu. Ndị otu ọkachamara anyị na-enye nkwado teknụzụ na ọrụ ire ere iji hụ na ịga nke ọma gị.
Nkọwapụta WAFERING
*n-Pm=n-ụdị Pm-Grade,n-Ps=n-ụdị Ps-Grade,Sl=Ọkara ala.
Ihe | 8-anụ ọhịa | 6-anụ ọhịa | 4-anụ ọhịa | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Ụta(GF3YFCD)-Uru zuru oke | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR) -10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
IMEcha elu elu
*n-Pm=n-ụdị Pm-Grade,n-Ps=n-ụdị Ps-Grade,Sl=Ọkara ala.
Ihe | 8-anụ ọhịa | 6-anụ ọhịa | 4-anụ ọhịa | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Emecha elu elu | Akụkụ abụọ Optical Polish, Si- Face CMP | ||||
Ọdịdị elu | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
ibe ibe | Ọnweghị nke ekwenyere (ogologo na obosara≥0.5mm) | ||||
Indents | Ọnweghị nke ekwenyere | ||||
Scratches (Si-Ihu) | Qty.≤5,Nchịkọta | Qty.≤5,Nchịkọta | Qty.≤5,Nchịkọta | ||
Mgbawa | Ọnweghị nke ekwenyere | ||||
Mwepu ihu | 3mm |