6 inch Semi Insulating SiC Wafer sitere na VET Energy bụ ihe ngwọta dị elu maka ngwa ike dị elu na nke dị elu, na-enye conductivity okpomọkụ dị elu na mkpuchi eletrik. Wafers ndị a na-ekpuchi ọkara dị mkpa na mmepe nke ngwaọrụ dị ka amplifiers RF, ọkụ ọkụ, na ihe ndị ọzọ dị elu voltaji. VET Energy na-eme ka ịdị mma na arụmọrụ na-agbanwe agbanwe, na-eme ka wafers ndị a dị mma maka ọtụtụ usoro nrụpụta semiconductor.
Na mgbakwunye na akụrụngwa mkpuchi ha pụtara ìhè, ndị SiC wafers dakọtara na ihe dị iche iche gụnyere Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, na Epi Wafer, na-eme ka ha nwee ụdị usoro nrụpụta dị iche iche. Ọzọkwa, enwere ike iji ihe ndị dị elu dị ka Gallium Oxide Ga2O3 na AlN Wafer na-ejikọta ya na ndị SiC wafers, na-enye ọbụna mgbanwe dị ukwuu na ngwaọrụ eletrik dị elu. Emebere wafers maka njikọta enweghị nkebi na sistemụ njikwa ụkpụrụ ụlọ ọrụ dị ka sistemụ Cassette, na-eme ka ọ dị mfe iji na ntọala nrụpụta oke.
VET Energy na-enye pọtụfoliyo zuru oke nke mkpụrụ akụkụ semiconductor, gụnyere Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, na AlN Wafer. Ahịrị ngwaahịa anyị dị iche iche na-egbo mkpa ngwa eletrọnịkị dị iche iche, site na ngwa eletrọnịkị ruo RF na optoelectronics.
SiC wafer 6 inch nke ọkara mkpuchi na-enye ọtụtụ uru:
Voltaji ndakpọ dị elu: Bandgap sara mbara nke SiC na-eme ka voltaji ndakpọ dị elu, na-enye ohere maka kọmpat na ngwaọrụ ike rụọ ọrụ nke ọma.
Ọrụ okpomọkụ dị elu: Nrụpụta ọkụ dị mma nke SiC na-enyere aka ịrụ ọrụ na okpomọkụ dị elu, na-eme ka ntụkwasị obi ngwaọrụ dịkwuo mma.
Nguzogide dị ala: Ngwaọrụ SiC na-egosipụta nguzogide dị ala, na-ebelata mfu ike yana melite arụmọrụ ike.
VET Energy na-enye wafer SiC nwere ike ịhazi ya iji mezuo ihe ị chọrọ, gụnyere ọkpụrụkpụ dị iche iche, ọkwa doping, na imecha elu. Ndị otu ọkachamara anyị na-enye nkwado teknụzụ na ọrụ ire ere iji hụ na ịga nke ọma gị.
Nkọwapụta WAFERING
*n-Pm=n-ụdị Pm-Grade,n-Ps=n-ụdị Ps-Grade,Sl=Ọkara ala.
Ihe | 8-anụ ọhịa | 6-anụ ọhịa | 4-anụ ọhịa | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Ụta(GF3YFCD)-Uru zuru oke | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR) -10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Beveling |
IMEcha elu elu
*n-Pm=n-ụdị Pm-Grade,n-Ps=n-ụdị Ps-Grade,Sl=Ọkara ala.
Ihe | 8-anụ ọhịa | 6-anụ ọhịa | 4-anụ ọhịa | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Emecha elu elu | Akụkụ abụọ Optical Polish, Si- Face CMP | ||||
Ọdịdị elu | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
ibe ibe | Ọnweghị nke ekwenyere (ogologo na obosara≥0.5mm) | ||||
Indents | Ọnweghị nke ekwenyere | ||||
Scratches (Si-Ihu) | Qty.≤5,Nchịkọta | Qty.≤5,Nchịkọta | Qty.≤5,Nchịkọta | ||
Mgbawa | Ọnweghị nke ekwenyere | ||||
Mwepu ihu | 3mm |