dokter hewan-china memastikan bahwa setiap Tahan LamaDayung Penanganan Wafer Silikon Karbidamemiliki kinerja dan daya tahan yang sangat baik. Dayung penanganan wafer silikon karbida ini menggunakan proses manufaktur canggih untuk memastikan stabilitas struktural dan fungsinya tetap dalam lingkungan bersuhu tinggi dan korosi kimia. Desain inovatif ini memberikan dukungan luar biasa untuk penanganan wafer semikonduktor, terutama untuk operasi otomatis dengan presisi tinggi.
Dayung Kantilever SiCadalah komponen khusus yang digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor seperti tungku oksidasi, tungku difusi, dan tungku anil, kegunaan utamanya adalah untuk bongkar muat wafer, menopang dan mengangkut wafer selama proses suhu tinggi.
Struktur umumdariSiCcanti tuaspbusuk: struktur kantilever, dipasang di satu ujung dan bebas di ujung lainnya, biasanya memiliki desain datar dan seperti dayung.
BekerjapprinsipdariSiCcanti tuaspbusuk:
Dayung kantilever dapat bergerak ke atas dan ke bawah atau maju mundur di dalam ruang tungku, dapat digunakan untuk memindahkan wafer dari area pemuatan ke area pemrosesan, atau keluar dari area pemrosesan, mendukung dan menstabilkan wafer selama pemrosesan suhu tinggi.
Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi | |
Milik | Nilai Khas |
Suhu kerja (°C) | 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan) |
konten SiC | > 99,96% |
Konten Si gratis | < 0,1% |
Kepadatan massal | 2,60-2,70 gram/cm3 |
Porositas yang tampak | < 16% |
Kekuatan kompresi | > 600MPa |
Kekuatan lentur dingin | 80-90 MPa (20°C) |
Kekuatan lentur panas | 90-100 MPa (1400°C) |
Ekspansi termal @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Konduktivitas termal @1200°C | 23 W/m·K |
Modulus elastis | 240 IPK |
Ketahanan terhadap guncangan termal | Sangat bagus |