Dayung Penanganan Wafer Silikon Karbida Tahan Lama

Deskripsi Singkat:

vet-china menyediakan Dayung Penanganan Wafer Silikon Karbida Tahan Lama yang sangat baik, yang menggabungkan kinerja tinggi dan desain inovatif untuk memastikan penanganan wafer yang efisien dan aman. Dengan daya tahan dan presisinya, dayung penanganan wafer karbon silikon vet-china adalah alat yang sangat diperlukan dalam proses manufaktur semikonduktor Anda, meningkatkan efisiensi produksi dan mengurangi risiko serpihan.


Detail Produk

Label Produk

dokter hewan-china memastikan bahwa setiap Tahan LamaDayung Penanganan Wafer Silikon Karbidamemiliki kinerja dan daya tahan yang sangat baik. Dayung penanganan wafer silikon karbida ini menggunakan proses manufaktur canggih untuk memastikan stabilitas struktural dan fungsinya tetap dalam lingkungan bersuhu tinggi dan korosi kimia. Desain inovatif ini memberikan dukungan luar biasa untuk penanganan wafer semikonduktor, terutama untuk operasi otomatis dengan presisi tinggi.

Dayung Kantilever SiCadalah komponen khusus yang digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor seperti tungku oksidasi, tungku difusi, dan tungku anil, kegunaan utamanya adalah untuk bongkar muat wafer, menopang dan mengangkut wafer selama proses suhu tinggi.

Struktur umumdariSiCcanti tuaspbusuk: struktur kantilever, dipasang di satu ujung dan bebas di ujung lainnya, biasanya memiliki desain datar dan seperti dayung.

BekerjapprinsipdariSiCcanti tuaspbusuk:

Dayung kantilever dapat bergerak ke atas dan ke bawah atau maju mundur di dalam ruang tungku, dapat digunakan untuk memindahkan wafer dari area pemuatan ke area pemrosesan, atau keluar dari area pemrosesan, mendukung dan menstabilkan wafer selama pemrosesan suhu tinggi.

Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi

Milik

Nilai Khas

Suhu kerja (°C)

1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan)

konten SiC

> 99,96%

Konten Si gratis

< 0,1%

Kepadatan massal

2,60-2,70 gram/cm3

Porositas yang tampak

< 16%

Kekuatan kompresi

> 600MPa

Kekuatan lentur dingin

80-90 MPa (20°C)

Kekuatan lentur panas

90-100 MPa (1400°C)

Ekspansi termal @1500°C

4.70 10-6/°C

Konduktivitas termal @1200°C

23 W/m·K

Modulus elastis

240 IPK

Ketahanan terhadap guncangan termal

Sangat bagus

Dayung Kantilever9
Dayung Kantilever8
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Obrolan Daring WhatsApp!