1. Pengakuan sebelum dibersihkan
1) Kapanperahu grafit PECVD/carrier digunakan lebih dari 100 hingga 150 kali, operator perlu memeriksa kondisi pelapisan tepat waktu. Jika terdapat lapisan yang tidak normal, perlu dibersihkan dan dipastikan. Warna lapisan normal wafer silikon pada perahu/pembawa grafit adalah biru. Jika wafer memiliki warna yang tidak biru, banyak warna, atau perbedaan warna antar wafer besar, itu merupakan lapisan yang tidak normal, dan penyebab kelainan tersebut perlu dipastikan tepat waktu.
2) Setelah proses, personel menganalisis kondisi pelapisanperahu grafit PECVD/carrier, mereka akan menentukan apakah perahu grafit perlu dibersihkan dan apakah card point perlu diganti, dan perahu/pembawa grafit yang perlu dibersihkan akan diserahkan kepada petugas peralatan untuk dibersihkan.
3) Setelahperahu grafit/pembawa rusak, personel produksi akan mengeluarkan semua wafer silikon di perahu grafit dan menggunakan CDA (udara terkompresi) untuk memilah pecahan di dalamnyaperahu grafit. Setelah selesai, petugas peralatan akan mengangkatnya ke dalam tangki asam yang telah disiapkan dengan larutan HF dalam proporsi tertentu untuk dibersihkan.
2. Pembersihan perahu grafit
Disarankan untuk menggunakan larutan asam fluorida 15-25% untuk tiga putaran pembersihan, masing-masing selama 4-5 jam, dan menggelembungkan nitrogen secara berkala selama proses perendaman dan pembersihan, menambahkan sekitar setengah jam pembersihan; Catatan: tidak disarankan menggunakan udara secara langsung sebagai sumber gas untuk menggelembung. Setelah pengawetan, bilas dengan air murni selama kurang lebih 10 jam, dan pastikan perahu telah dibersihkan secara menyeluruh. Setelah dibersihkan, harap periksa permukaan perahu, titik kartu grafit dan sambungan lembaran perahu, serta bagian lainnya untuk melihat apakah ada residu silikon nitrida. Kemudian keringkan sesuai kebutuhan.
3. Tindakan pencegahan pembersihan
A) Karena asam HF adalah zat yang sangat korosif dan memiliki volatilitas tertentu, maka berbahaya bagi operator. Oleh karena itu, operator di pos pembersihan harus mengambil tindakan pencegahan keselamatan dan dikelola oleh orang yang berdedikasi.
B) Disarankan untuk membongkar perahu dan hanya membersihkan bagian grafitnya selama pembersihan, sehingga setiap bagian kontak dapat dibersihkan lebih menyeluruh. Saat ini, banyak produsen dalam negeri menggunakan pembersihan menyeluruh, yang memudahkan, tetapi karena asam HF bersifat korosif terhadap komponen keramik, pembersihan menyeluruh akan memperpendek masa pakai komponen terkait.
Waktu posting: 23 Des-2024