Dayung Kantilever SiC Tingkat Lanjut untuk Pemrosesan Wafer

Deskripsi Singkat:

Dayung Kantilever SiC Tingkat Lanjut untuk Pemrosesan Wafer yang diluncurkan oleh vet-china menggunakan bahan SiC berteknologi tinggi untuk meningkatkan efisiensi dan presisi pemrosesan wafer. Dayung kantilever Vet-china memiliki ketahanan panas dan ketahanan korosi yang sangat baik, memastikan kinerja penanganan wafer yang stabil di lingkungan manufaktur yang keras, menjadikannya pilihan ideal untuk meningkatkan hasil produksi.

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Yang LanjutanDayung Kantilever SiCuntuk Pemrosesan Wafer yang dibuat oleh vet-china memberikan solusi terbaik untuk pembuatan semikonduktor. Dayung kantilever ini terbuat dari bahan SiC (silikon karbida), dan kekerasannya yang tinggi serta tahan panas memungkinkannya mempertahankan kinerja yang sangat baik di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Desain Cantilever Paddle memungkinkan wafer ditopang dengan andal selama pemrosesan, sehingga mengurangi risiko fragmentasi dan kerusakan.

Dayung Kantilever SiCadalah komponen khusus yang digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor seperti tungku oksidasi, tungku difusi, dan tungku anil, kegunaan utamanya adalah untuk bongkar muat wafer, menopang dan mengangkut wafer selama proses suhu tinggi.

Struktur umumdariSiCcanti tuaspbusuk: struktur kantilever, dipasang di satu ujung dan bebas di ujung lainnya, biasanya memiliki desain datar dan seperti dayung.

VET Energy menggunakan bahan silikon karbida rekristalisasi dengan kemurnian tinggi untuk menjamin kualitas.

Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi
Milik	Nilai Khas
Suhu kerja (°C)	1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan)
konten SiC	> 99,96%
Konten Si gratis	< 0,1%
Kepadatan massal	2,60-2,70 gram/cm³
Porositas yang tampak	< 16%
Kekuatan kompresi	> 600MPa
Kekuatan lentur dingin	80-90 MPa (20°C)
Kekuatan lentur panas	90-100 MPa (1400°C)
Ekspansi termal @1500°C	4.70 10^-6/°C
Konduktivitas termal @1200°C	23W/m·K
Modulus elastis	240 IPK
Ketahanan terhadap guncangan termal	Sangat bagus