Yang LanjutanDayung Kantilever SiCuntuk Pemrosesan Wafer yang dibuat oleh vet-china memberikan solusi terbaik untuk pembuatan semikonduktor. Dayung kantilever ini terbuat dari bahan SiC (silikon karbida), dan kekerasannya yang tinggi serta tahan panas memungkinkannya mempertahankan kinerja yang sangat baik di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Desain Cantilever Paddle memungkinkan wafer ditopang dengan andal selama pemrosesan, sehingga mengurangi risiko fragmentasi dan kerusakan.
Dayung Kantilever SiCadalah komponen khusus yang digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor seperti tungku oksidasi, tungku difusi, dan tungku anil, kegunaan utamanya adalah untuk bongkar muat wafer, menopang dan mengangkut wafer selama proses suhu tinggi.
Struktur umumdariSiCcanti tuaspbusuk: struktur kantilever, dipasang di satu ujung dan bebas di ujung lainnya, biasanya memiliki desain datar dan seperti dayung.
VET Energy menggunakan bahan silikon karbida rekristalisasi dengan kemurnian tinggi untuk menjamin kualitas.
| Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi | |
| Milik | Nilai Khas |
| Suhu kerja (°C) | 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan) |
| konten SiC | > 99,96% |
| Konten Si gratis | < 0,1% |
| Kepadatan massal | 2,60-2,70 gram/cm3 |
| Porositas yang tampak | < 16% |
| Kekuatan kompresi | > 600MPa |
| Kekuatan lentur dingin | 80-90 MPa (20°C) |
| Kekuatan lentur panas | 90-100 MPa (1400°C) |
| Ekspansi termal @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Konduktivitas termal @1200°C | 23W/m·K |
| Modulus elastis | 240 IPK |
| Ketahanan terhadap guncangan termal | Sangat bagus |
Keuntungan dari Dayung Kantilever SiC Canggih VET Energy untuk Pemrosesan Wafer adalah:
-Stabilitas suhu tinggi: dapat digunakan di lingkungan di atas 1600 °C;
-Koefisien ekspansi termal rendah: menjaga stabilitas dimensi, mengurangi risiko lengkungan wafer;
-Kemurnian tinggi: risiko kontaminasi logam lebih rendah;
-Kelembaman kimia: tahan korosi, cocok untuk berbagai lingkungan gas;
-Kekuatan dan kekerasan tinggi: tahan aus, umur panjang;
-Konduktivitas termal yang baik: membantu pemanasan wafer yang seragam.
