Dayung Kantilever SiC Tingkat Lanjut untuk Pemrosesan Wafer

Deskripsi Singkat:

Dayung Kantilever SiC Tingkat Lanjut untuk Pemrosesan Wafer yang diluncurkan oleh vet-china menggunakan bahan SiC berteknologi tinggi untuk meningkatkan efisiensi dan presisi pemrosesan wafer. Dayung kantilever Vet-china memiliki ketahanan panas dan ketahanan korosi yang sangat baik, memastikan kinerja penanganan wafer yang stabil di lingkungan manufaktur yang keras, menjadikannya pilihan ideal untuk meningkatkan hasil produksi.


Detil Produk

Label Produk

Yang LanjutanDayung Kantilever SiCuntuk Pemrosesan Wafer yang dibuat oleh vet-china memberikan solusi terbaik untuk pembuatan semikonduktor. Dayung kantilever ini terbuat dari bahan SiC (silikon karbida), dan kekerasannya yang tinggi serta tahan panas memungkinkannya mempertahankan kinerja yang sangat baik di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Desain Cantilever Paddle memungkinkan wafer ditopang dengan andal selama pemrosesan, sehingga mengurangi risiko fragmentasi dan kerusakan.

Dayung Kantilever SiCadalah komponen khusus yang digunakan dalam peralatan manufaktur semikonduktor seperti tungku oksidasi, tungku difusi, dan tungku anil, kegunaan utamanya adalah untuk bongkar muat wafer, menopang dan mengangkut wafer selama proses suhu tinggi.

Struktur umumdariSiCcanti tuaspbusuk: struktur kantilever, dipasang di satu ujung dan bebas di ujung lainnya, biasanya memiliki desain datar dan seperti dayung.

VET Energy menggunakan bahan silikon karbida rekristalisasi dengan kemurnian tinggi untuk menjamin kualitas.

Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi

Milik

Nilai Khas

Suhu kerja (°C)

1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan)

konten SiC

> 99,96%

Konten Si gratis

< 0,1%

Kepadatan massal

2,60-2,70 gram/cm3

Porositas yang tampak

< 16%

Kekuatan kompresi

> 600MPa

Kekuatan lentur dingin

80-90 MPa (20°C)

Kekuatan lentur panas

90-100 MPa (1400°C)

Ekspansi termal @1500°C

4.70 10-6/°C

Konduktivitas termal @1200°C

23W/m·K

Modulus elastis

240 IPK

Ketahanan terhadap guncangan termal

Sangat bagus

Keuntungan dari Dayung Kantilever SiC Canggih VET Energy untuk Pemrosesan Wafer adalah:

-Stabilitas suhu tinggi: dapat digunakan di lingkungan di atas 1600 °C;

-Koefisien ekspansi termal rendah: menjaga stabilitas dimensi, mengurangi risiko lengkungan wafer;

-Kemurnian tinggi: risiko kontaminasi logam lebih rendah;

-Kelembaman kimia: tahan korosi, cocok untuk berbagai lingkungan gas;

-Kekuatan dan kekerasan tinggi: tahan aus, umur panjang;

-Konduktivitas termal yang baik: membantu pemanasan wafer yang seragam.

Dayung Kantilever10
Dayung Kantilever16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Obrolan Daring WhatsApp!