pemanas lapisan keramik silikon karbida

Dokter Hewan-CinaKeramik Silikon KarbidaLapisan adalah lapisan pelindung berkinerja tinggi yang terbuat dari bahan yang sangat keras dan tahan aussilikon karbida (SiC)bahan, yang memberikan ketahanan korosi kimia yang sangat baik dan stabilitas suhu tinggi. Karakteristik ini sangat penting dalam produksi semikonduktorLapisan Keramik Silikon Karbidabanyak digunakan dalam komponen utama peralatan manufaktur semikonduktor.

Peran spesifik Dokter Hewan-TiongkokKeramik Silikon KarbidaPelapisan dalam produksi semikonduktor adalah sebagai berikut:

Meningkatkan daya tahan peralatan:Lapisan Keramik Silikon Karbida Lapisan Keramik Silikon Karbida memberikan perlindungan permukaan yang sangat baik untuk peralatan manufaktur semikonduktor dengan kekerasan dan ketahanan aus yang sangat tinggi. Terutama di lingkungan proses bersuhu tinggi dan sangat korosif, seperti deposisi uap kimia (CVD) dan etsa plasma, pelapisan dapat secara efektif mencegah permukaan peralatan rusak akibat erosi kimia atau keausan fisik, sehingga memperpanjang masa pakai peralatan secara signifikan. peralatan dan mengurangi waktu henti yang disebabkan oleh penggantian dan perbaikan yang sering.

Meningkatkan kemurnian proses:Dalam proses pembuatan semikonduktor, kontaminasi kecil dapat menyebabkan cacat produk. Kelambanan kimia Lapisan Keramik Silikon Karbida memungkinkannya tetap stabil dalam kondisi ekstrem, mencegah material melepaskan partikel atau kotoran, sehingga menjamin kemurnian lingkungan dari proses tersebut. Hal ini sangat penting untuk langkah produksi yang memerlukan presisi tinggi dan kebersihan tinggi, seperti PECVD dan implantasi ion.

Mengoptimalkan manajemen termal:Dalam pemrosesan semikonduktor suhu tinggi, seperti pemrosesan termal cepat (RTP) dan proses oksidasi, konduktivitas termal yang tinggi dari Lapisan Keramik Silikon Karbida memungkinkan distribusi suhu yang seragam di dalam peralatan. Hal ini membantu mengurangi tekanan termal dan deformasi material yang disebabkan oleh fluktuasi suhu, sehingga meningkatkan akurasi dan konsistensi pembuatan produk.

Mendukung lingkungan proses yang kompleks:Dalam proses yang memerlukan kontrol atmosfer yang kompleks, seperti proses etsa ICP dan proses etsa PSS, stabilitas dan ketahanan oksidasi Lapisan Keramik Silikon Karbida memastikan bahwa peralatan mempertahankan kinerja yang stabil dalam pengoperasian jangka panjang, mengurangi risiko degradasi material atau kerusakan peralatan karena terhadap perubahan lingkungan.