Bagian Halfmoon Grafit Dilapisi SiC Untuk Peralatan Epitaksi Silikon Karbida

Deskripsi Singkat:

Pengenalan dan penggunaan produk: Tabung kuarsa yang terhubung, dapat mengalirkan gas untuk menggerakkan rotasi dasar baki, kontrol suhu

Lokasi perangkat produk: di ruang reaksi, tidak bersentuhan langsung dengan wafer

Produk hilir utama: perangkat listrik

Pasar terminal utama: kendaraan energi baru

 


Detail Produk

Label Produk

Bagian Halfmoon Grafit Dilapisi SiCis a kuncikomponen yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, terutama untuk peralatan epitaksi SiC.Kami menggunakan teknologi kami yang telah dipatenkan untuk membuat bagian bulan sabitkemurnian yang sangat tinggi,Baguslapisankeseragamandan kehidupan pelayanan yang sangat baik, sertaketahanan kimia yang tinggi dan sifat stabilitas termal.

Energi VET adalah ituprodusen nyata produk grafit dan silikon karbida khusus dengan lapisan CVD,dapat menyediakanbermacam-macamsuku cadang yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Otim teknis Anda berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat memberikan solusi material yang lebih profesionaluntukmu.

Kami terus mengembangkan proses lanjutan untuk menyediakan materi yang lebih canggih,Dantelah mengembangkan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat menjadi lebih erat dan tidak mudah terkelupas.

Ffitur produk kami:

1. Ketahanan oksidasi suhu tinggi hingga 1700.
2. Kemurnian tinggi dankeseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan kompak, partikel halus.
5. Umur pemakaian lebih lama dan lebih tahan lama

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dasar CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / Kepadatan

3,21 gram/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(beban 500g)

晶粒大小 / Ukuran Butir

2~10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99,99995%

热容 / Kapasitas Panas

640J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4 titik

杨氏模量 / Modulus Muda

tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / TermalakuDaya konduksi

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Obrolan Daring WhatsApp!