vet-china-ն ապահովում է, որ յուրաքանչյուր երկարակյացՍիլիկոնային կարբիդ վաֆլի բեռնաթափման թիակունի գերազանց կատարում և ամրություն: Այս սիլիցիումի կարբիդային վաֆլի մշակման թիակը օգտագործում է առաջադեմ արտադրական գործընթացներ՝ ապահովելու համար, որ դրա կառուցվածքային կայունությունն ու ֆունկցիոնալությունը մնան բարձր ջերմաստիճանի և քիմիական կոռոզիայի միջավայրում: Այս նորարար դիզայնը հիանալի աջակցություն է տրամադրում կիսահաղորդչային վաֆլի մշակման համար, հատկապես բարձր ճշգրտության ավտոմատացված գործողությունների համար:
SiC Cantilever PaddleՄասնագիտացված բաղադրիչ է, որն օգտագործվում է կիսահաղորդչային արտադրության սարքավորումներում, ինչպիսիք են օքսիդացման վառարանը, դիֆուզիոն վառարանը և կռելու վառարանը, հիմնական օգտագործումը վաֆլի բեռնման և բեռնաթափման համար է, աջակցում և տեղափոխում է վաֆլիներ բարձր ջերմաստիճանի գործընթացների ժամանակ:
Ընդհանուր կառույցներ-իցSiCcհակալծակpավելացնել: մի ծայրում ամրացված, մյուս ծայրում՝ ազատ, կանթեղային կառուցվածքը սովորաբար ունի հարթ և թիավարման ձևավորում:
Աշխատանքայինpսկզբունք-իցSiCcհակալծակpավելացնել:
Բեռնախցիկի թիակը կարող է շարժվել վեր ու վար կամ ետ ու առաջ վառարանի խցիկում, այն կարող է օգտագործվել վաֆլիները բեռնման վայրերից վերամշակման տարածքներ կամ վերամշակման տարածքներից դուրս տեղափոխելու համար՝ աջակցելով և կայունացնելով վաֆլիները բարձր ջերմաստիճանի մշակման ժամանակ:
| Վերաբյուրեղացված սիլիցիումի կարբիդի ֆիզիկական հատկությունները | |
| Սեփականություն | Տիպիկ արժեք |
| Աշխատանքային ջերմաստիճան (°C) | 1600°C (թթվածնով), 1700°C (նվազեցնող միջավայր) |
| SiC բովանդակություն | > 99.96% |
| Անվճար Si բովանդակություն | < 0,1% |
| Զանգվածային խտություն | 2,60-2,70 գ/սմ3 |
| Ակնհայտ ծակոտկենություն | < 16% |
| Սեղմման ուժը | > 600 ՄՊա |
| Սառը ճկման ուժ | 80-90 ՄՊա (20°C) |
| Տաք ճկման ուժ | 90-100 ՄՊա (1400°C) |
| Ջերմային ընդլայնում @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Ջերմահաղորդականություն @1200°C | 23 W/m•K |
| Էլաստիկ մոդուլ | 240 ԳՊա |
| Ջերմային ցնցումների դիմադրություն | Չափազանց լավ |
