SiC ծածկույթով գրաֆիտով կիսալուսնային մաս սիլիցիումի կարբիդի էպիտաքսիալ սարքավորման համար

Կարճ նկարագրություն.

Ապրանքի ներդրում և օգտագործում. Միացված քվարցային խողովակ, կարող է գազ փոխանցել սկուտեղի բազայի պտույտը վարելու համար, ջերմաստիճանի վերահսկում

Արտադրանքի սարքի գտնվելու վայրը. ռեակցիայի խցիկում, վաֆլի հետ անմիջական շփման մեջ

Ներքևի հոսքի հիմնական արտադրանքները՝ ուժային սարքեր

Հիմնական տերմինալային շուկա՝ նոր էներգիայի մեքենաներ

 


Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

SiC ծածկույթով գրաֆիտ կիսալուսնի մասis a բանալիբաղադրիչ, որն օգտագործվում է կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացներում, հատկապես SiC էպիտաքսիալ սարքավորումների համար:Մենք օգտագործում ենք մեր արտոնագրված տեխնոլոգիան կիսալուսնի մաս պատրաստելու համարչափազանց բարձր մաքրություն,լավծածկույթմիատարրությունև գերազանց ծառայության ժամկետ, ինչպես նաևբարձր քիմիական դիմադրություն և ջերմային կայունություն:

ՄԿՈՒ էներգիան է որհարմարեցված գրաֆիտի և սիլիցիումի կարբիդի արտադրանքի իրական արտադրող CVD ծածկույթով,կարող է մատակարարելբազմազանհարմարեցված մասեր կիսահաղորդչային և ֆոտոգալվանային արդյունաբերության համար: Our տեխնիկական թիմը գալիս է տեղական առաջատար հետազոտական ​​հաստատություններից, կարող է ավելի պրոֆեսիոնալ նյութական լուծումներ տալքեզ համար։

Մենք շարունակաբար զարգացնում ենք առաջադեմ գործընթացներ՝ ավելի առաջադեմ նյութեր տրամադրելու համար,ևմշակել են բացառիկ արտոնագրված տեխնոլոգիա, որը կարող է դարձնել կապը ծածկույթի և ենթաշերտի միջև ավելի ամուր և ավելի քիչ հակված ճեղքման:

Fմեր արտադրանքի առանձնահատկությունները.

1. Բարձր ջերմաստիճանի օքսիդացման դիմադրություն մինչև 1700.
2. Բարձր մաքրություն եւջերմային միատեսակություն
3. Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն՝ թթու, ալկալի, աղ և օրգանական ռեակտիվներ:
4. Բարձր կարծրություն, կոմպակտ մակերես, նուրբ մասնիկներ:
5. Ավելի երկար ծառայության ժամկետ և ավելի դիմացկուն

CVD SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC-ի հիմնական ֆիզիկական հատկություններըծածկույթ

性质 / Գույք

典型数值 / Տիպիկ արժեք

晶体结构 / Բյուրեղյա կառուցվածք

FCC β փուլ多晶,主要为(111):

密度 / Խտություն

3,21 գ/սմ³

硬度 / Կարծրություն

2500 գրամ (500 գ բեռ)

晶粒大小 / Grain SiZe

2-10 մկմ

纯度 / Քիմիական մաքրություն

99,99995%

热容 / Ջերմային հզորություն

640 J·kg-1· Կ-1

升华温度 / Sublimation Temperature

2700℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 ՄՊա RT 4-բալ

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt թեքում, 1300℃

导热系数 / ԹերմալՀաղորդունակություն

300W·m-1· Կ-1

热膨胀系数 / Ջերմային ընդլայնում (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Ջերմորեն ողջունում ենք ձեզ այցելել մեր գործարան, եկեք հետագա քննարկենք:

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Նախորդը:
  • Հաջորդը:

  • WhatsApp առցանց զրույց!