1. Մաքրումից առաջ ճանաչում
1) ԵրբPECVD գրաֆիտային նավակ/կրիչը օգտագործվում է ավելի քան 100-ից 150 անգամ, օպերատորը պետք է ժամանակին ստուգի ծածկույթի վիճակը։ Եթե կա աննորմալ ծածկույթ, այն պետք է մաքրվի և հաստատվի: Գրաֆիտային նավակի/կրիչի սիլիկոնային վաֆլի նորմալ ծածկույթի գույնը կապույտ է: Եթե վաֆլի ունի ոչ կապույտ, բազմակի գույներ, կամ վաֆլիների գունային տարբերությունը մեծ է, ապա դա աննորմալ ծածկույթ է, և աննորմալության պատճառը պետք է ժամանակին հաստատվի:
2) Գործընթացից հետո անձնակազմը վերլուծում է ծածկույթի վիճակըPECVD գրաֆիտային նավակ/փոխադրող, նրանք կորոշեն, թե արդյոք գրաֆիտային նավակը պետք է մաքրվի և արդյոք քարտի կետը պետք է փոխարինվի, և մաքրման կարիք ունեցող գրաֆիտային նավակը/կրիչը կհանձնվի սարքավորումների անձնակազմին մաքրման համար:
3) հետոգրաֆիտային նավակ/կրիչը վնասված է, արտադրական անձնակազմը կհանի գրաֆիտի նավակի բոլոր սիլիցիումային վաֆլիները և կօգտագործի CDA (սեղմված օդ)՝ բեկորները դասավորելու համար:գրաֆիտային նավակ. Ավարտից հետո սարքավորման անձնակազմը այն կբարձրացնի թթվային բաքի մեջ, որը պատրաստված է մաքրման համար HF լուծույթի որոշակի համամասնությամբ:
2. Գրաֆիտի նավակի մաքրում
Խորհուրդ է տրվում օգտագործել 15-25% հիդրոֆլորաթթվի լուծույթ երեք փուլերի մաքրման համար, յուրաքանչյուրը 4-5 ժամ, իսկ թրջման և մաքրման գործընթացում պարբերաբար փրփրացող ազոտ՝ ավելացնելով մոտ կես ժամ մաքրում; Նշում. խորհուրդ չի տրվում ուղղակիորեն օգտագործել օդը որպես գազի աղբյուր փրփրելու համար: Թթու դնելուց հետո մոտ 10 ժամ լվանալ մաքուր ջրով և հաստատել, որ նավակը մանրակրկիտ մաքրվել է: Մաքրումից հետո խնդրում ենք ստուգել նավակի մակերեսը, գրաֆիտի քարտի կետը և նավակի թերթիկի միացումը և մյուս մասերը՝ տեսնելու, թե արդյոք կա սիլիցիումի նիտրիդի մնացորդ: Ապա չորացրեք ըստ պահանջների։
3. Մաքրման նախազգուշական միջոցներ
Ա) Քանի որ HF թթուն շատ քայքայիչ նյութ է և ունի որոշակի անկայունություն, այն վտանգավոր է օպերատորների համար: Հետևաբար, մաքրման կետի օպերատորները պետք է ձեռնարկեն անվտանգության նախազգուշական միջոցներ և կառավարվեն նվիրված անձի կողմից:
Բ) Խորհուրդ է տրվում ապամոնտաժել նավակը և մաքրման ժամանակ մաքրել միայն գրաֆիտի հատվածը, որպեսզի յուրաքանչյուր կոնտակտային մաս ավելի մանրակրկիտ մաքրվի։ Ներկայումս շատ հայրենական արտադրողներ օգտագործում են ընդհանուր մաքրում, ինչը հարմար է, բայց քանի որ HF թթունը քայքայիչ է կերամիկական մասերի համար, ընդհանուր մաքրումը կնվազեցնի համապատասխան մասերի ծառայության ժամկետը:
Հրապարակման ժամանակը՝ Դեկ-23-2024