VET Energy SiC ծածկված Susceptorբարձր արդյունավետությամբ լուծում է, որը մանրակրկիտ մշակված է, որպեսզի ապահովի հուսալի, հետևողական աշխատանք երկարատև կյանքի ընթացքում՝ բավարարելով կիսահաղորդիչների արտադրության խիստ պահանջները: Բացառիկ ջերմակայունությամբ, բարձր ջերմային միատեսակությամբ և բարձր մաքրությամբ այս արտադրանքը իդեալական է MOCVD վաֆլի կրիչների և վաֆլի մշակման այլ ծրագրերի համար, որոնք պահանջում են կայունություն և ճշգրտություն: Նրա հզոր էրոզիայի դիմադրությունը այն դարձնում է պրեմիում ընտրություն այն միջավայրերի համար, որտեղ երկարակեցությունը և քիմիական առաձգականությունը կարևոր են:
ՄերSiC ծածկված գրաֆիտի ընկալիչհանդես է գալիս որպես կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացի կարևոր բաղադրիչ՝ օգտագործելով VET Energy-ի բացառիկ արտոնագրված տեխնոլոգիան՝ հասնելու չափազանց բարձր մաքրության, ծածկույթի գերազանց միատեսակության և ուշագրավ ջերմային կայունության: Ծածկույթը ուժեղացնում է գրաֆիտի հիմքը բարձր քիմիական դիմադրությամբ և զգալիորեն երկարաձգված ծառայության ժամկետով: VET Energy-ի նվիրվածությունը որակին հանգեցրել է SiC-ով ծածկված ընկալիչի, որը բավարարում է գրաֆիտի վաֆլի կրիչի շուկայի զարգացող կարիքները՝ սահմանելով բարձր ստանդարտ SiC-ով ծածկված գրաֆիտի ընկալիչների համար, որոնք օգտագործվում ենMOCVD գործընթացներ.
SiC ծածկված ընկալիչների հիմնական առանձնահատկությունները.
1. Բարձր ջերմաստիճանի օքսիդացման դիմադրություն.Դիմակայում է մինչև 1700℃ ջերմաստիճանին, ինչը հարմար է մշակման ծայրահեղ պայմանների համար:
2. Բարձր մաքրություն և ջերմային միատեսակություն.Ապահովում է հետևողական արդյունքներ, որոնք կենսական նշանակություն ունենMOCVD ընկալիչներև այլ ճշգրիտ կիրառություններ:
3. Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն.Դիմացկուն է թթուների, ալկալիների, աղի և տարբեր օրգանական ռեակտիվների նկատմամբ:
4. Ընդլայնված մակերեսային կարծրություն.Կոմպակտ մակերես նուրբ մասնիկներով, որոնք ապահովում են ավելի բարձր ամրություն և երկարակեցություն:
5. Երկարացված ծառայության ժամկետը.Նախագծված է կայուն կատարողականության համար, որը գերազանցում է ստանդարտ սիլիցիումի կարբիդով ծածկված ընկալիչները կոշտ մշակման միջավայրերում:
Որպես առաջատար արտադրող, VET Energy-ն մասնագիտացած է հարմարեցված գրաֆիտի ևսիլիցիումի կարբիդի արտադրանքծածկույթի տարբեր տարբերակներով, ներառյալSiC ծածկույթ, TaC ծածկույթ, ապակե ածխածնային ծածկույթ, և պիրոլիտիկ ածխածնային ծածկույթ: Մենք հպարտությամբ ծառայում ենք կիսահաղորդչային և ֆոտոգալվանային արդյունաբերությանը՝ մատուցելով սիլիցիումի կարբիդով ծածկված գրաֆիտի ընկալիչներ, որոնք բավարարում են հատուկ գործառնական պահանջները:
Մեր տեխնիկական թիմը, որն ունի տեղական լավագույն հետազոտական հաստատությունների փորձը, նվիրված է զարգացող կարիքների համար նյութական լուծումների առաջխաղացմանը:SiC ծածկված գրաֆիտի ընկալիչշուկա. Մեր արտոնագրված գործընթացի միջոցով VET Energy-ն մշակել է եզակի տեխնոլոգիա, որը զգալիորեն բարելավում է կապի ամրությունը սիլիցիումի կարբիդի ծածկույթի և ենթաշերտի միջև՝ նվազեցնելով անջատվելու վտանգը և բարձրացնելով երկարաժամկետ հուսալիությունը:
Կիրառություններ և առավելություններ կիսահաղորդչային մշակման մեջ
ԱյնSiC ծածկույթ MOCVD-ի համարհնարավորություն է տալիսգրաֆիտի ընկալիչբաղադրիչներ բարձր ջերմաստիճանի և քայքայիչ միջավայրում ամբողջականությունը պահպանելու համար, ինչը կենսական նշանակություն ունի կիսահաղորդիչների ճշգրիտ արտադրության համար: Այս SiC ծածկված գրաֆիտի բաղադրիչները հատկապես գնահատվում են այն գործընթացներում, որոնք պահանջում են սիլիցիումի կարբիդով ծածկված ընկալիչներգրաֆիտ վաֆլի կրիչներ, որոնք պահանջում են բարձր ջերմային կայունություն, մաքրություն և դիմադրություն քիմիական էրոզիայի նկատմամբ։
Սիլիցիումի կարբիդի ծածկույթի մեր առաջադեմ տեխնիկայով VET Energy-ը շարունակում է աջակցել գրաֆիտի վաֆլի կրիչի շուկան՝ մատուցելով հարմարեցված, բարձր արդյունավետություն:SiC ծածկված գրաֆիտի ընկալիչներորոնք լուծում են ոլորտին բնորոշ մարտահրավերները՝ սկսած MOCVD գործընթացներից մինչև կիսահաղորդչային ոլորտում բարձր մաքրության կիրառություններ: