ԸնդլայնվածSiC Cantilever PaddleՎետ-Չինաստանի կողմից ստեղծված վաֆլի մշակման համար հիանալի լուծում է կիսահաղորդիչների արտադրության համար: Այս թիկնոցը պատրաստված է SiC (սիլիցիումի կարբիդ) նյութից, և դրա բարձր կարծրությունը և ջերմակայունությունը թույլ են տալիս պահպանել գերազանց կատարում բարձր ջերմաստիճանի և քայքայիչ միջավայրերում: Cantilever Paddle-ի դիզայնը թույլ է տալիս վաֆլիին հուսալիորեն ամրացնել մշակման ընթացքում՝ նվազեցնելով մասնատման և վնասվելու վտանգը:
SiC Cantilever PaddleՄասնագիտացված բաղադրիչ է, որն օգտագործվում է կիսահաղորդչային արտադրության սարքավորումներում, ինչպիսիք են օքսիդացման վառարանը, դիֆուզիոն վառարանը և կռելու վառարանը, հիմնական օգտագործումը վաֆլի բեռնման և բեռնաթափման համար է, աջակցում և տեղափոխում է վաֆլիներ բարձր ջերմաստիճանի գործընթացների ժամանակ:
Ընդհանուր կառույցներ-իցSiCcհակալծակpավելացնել: մի ծայրում ամրացված, մյուս ծայրում՝ ազատ, կանթեղային կառուցվածքը սովորաբար ունի հարթ և թիավարման ձևավորում:
VET Energy-ն օգտագործում է բարձր մաքրության վերաբյուրեղացված սիլիցիումի կարբիդային նյութեր՝ որակը երաշխավորելու համար:
Վերաբյուրեղացված սիլիցիումի կարբիդի ֆիզիկական հատկությունները | |
Սեփականություն | Տիպիկ արժեք |
Աշխատանքային ջերմաստիճան (°C) | 1600°C (թթվածնով), 1700°C (նվազեցնող միջավայր) |
SiC բովանդակություն | > 99.96% |
Անվճար Si բովանդակություն | < 0,1% |
Զանգվածային խտություն | 2,60-2,70 գ/սմ3 |
Ակնհայտ ծակոտկենություն | < 16% |
Սեղմման ուժը | > 600ՄՊա |
Սառը ճկման ուժ | 80-90 ՄՊա (20°C) |
Տաք ճկման ուժ | 90-100 ՄՊա (1400°C) |
Ջերմային ընդլայնում @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Ջերմահաղորդականություն @1200°C | 23W/m•K |
Էլաստիկ մոդուլ | 240 ԳՊա |
Ջերմային ցնցումների դիմադրություն | Չափազանց լավ |
Վաֆլի մշակման համար VET Energy-ի առաջադեմ SiC Cantilever Paddle-ի առավելություններն են.
- Բարձր ջերմաստիճանի կայունություն. օգտագործելի է 1600°C-ից բարձր միջավայրում;
- Ցածր ջերմային ընդարձակման գործակից. պահպանում է ծավալային կայունությունը՝ նվազեցնելով վաֆլի աղավաղման ռիսկը;
-Բարձր մաքրություն. մետաղների աղտոտման ավելի ցածր ռիսկ;
-Քիմիական իներտություն. կոռոզիոն դիմացկուն, հարմար է տարբեր գազային միջավայրերի համար;
- Բարձր ամրություն և կարծրություն. մաշվածության դիմացկուն, երկար սպասարկման ժամկետ;
- Լավ ջերմային հաղորդունակություն. օգնում է վաֆլի միասնական տաքացմանը: