Ընդլայնված SiC Cantilever թիակ վաֆլի մշակման համար

Կարճ նկարագրություն.

Վաֆլի մշակման առաջադեմ SiC Cantilever Paddle-ը, որը թողարկվել է Veter-China-ի կողմից, օգտագործում է բարձր տեխնոլոգիական SiC նյութեր՝ վաֆլի մշակման արդյունավետությունն ու ճշգրտությունը բարելավելու համար: Vet-china's cantilever paddle-ն ունի գերազանց ջերմակայունություն և կոռոզիոն դիմադրություն՝ ապահովելով վաֆլի հետ աշխատելու կայուն կատարում կոշտ արտադրական միջավայրերում՝ դարձնելով այն իդեալական ընտրություն՝ արտադրության եկամտաբերությունը բարելավելու համար:

Նամակ ուղարկեք մեզ Ներբեռնեք որպես PDF

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

ԸնդլայնվածSiC Cantilever PaddleՎետ-Չինաստանի կողմից ստեղծված վաֆլի մշակման համար հիանալի լուծում է կիսահաղորդիչների արտադրության համար: Այս թիկնոցը պատրաստված է SiC (սիլիցիումի կարբիդ) նյութից, և դրա բարձր կարծրությունը և ջերմակայունությունը թույլ են տալիս պահպանել գերազանց կատարում բարձր ջերմաստիճանի և քայքայիչ միջավայրերում: Cantilever Paddle-ի դիզայնը թույլ է տալիս վաֆլիին հուսալիորեն ամրացնել մշակման ընթացքում՝ նվազեցնելով մասնատման և վնասվելու վտանգը:

SiC Cantilever PaddleՄասնագիտացված բաղադրիչ է, որն օգտագործվում է կիսահաղորդչային արտադրության սարքավորումներում, ինչպիսիք են օքսիդացման վառարանը, դիֆուզիոն վառարանը և կռելու վառարանը, հիմնական օգտագործումը վաֆլի բեռնման և բեռնաթափման համար է, աջակցում և տեղափոխում է վաֆլիներ բարձր ջերմաստիճանի գործընթացների ժամանակ:

Ընդհանուր կառույցներ-իցSiCcհակալծակpավելացնել: մի ծայրում ամրացված, մյուս ծայրում՝ ազատ, կանթեղային կառուցվածքը սովորաբար ունի հարթ և թիավարման ձևավորում:

VET Energy-ն օգտագործում է բարձր մաքրության վերաբյուրեղացված սիլիցիումի կարբիդային նյութեր՝ որակը երաշխավորելու համար:

Վերաբյուրեղացված սիլիցիումի կարբիդի ֆիզիկական հատկությունները
Սեփականություն	Տիպիկ արժեք
Աշխատանքային ջերմաստիճան (°C)	1600°C (թթվածնով), 1700°C (նվազեցնող միջավայր)
SiC բովանդակություն	> 99.96%
Անվճար Si բովանդակություն	< 0,1%
Զանգվածային խտություն	2,60-2,70 գ/սմ³
Ակնհայտ ծակոտկենություն	< 16%
Սեղմման ուժը	> 600ՄՊա
Սառը ճկման ուժ	80-90 ՄՊա (20°C)
Տաք ճկման ուժ	90-100 ՄՊա (1400°C)
Ջերմային ընդլայնում @1500°C	4.70 10^-6/°C
Ջերմային հաղորդունակություն @1200°C	23W/m•K
Էլաստիկ մոդուլ	240 ԳՊա
Ջերմային ցնցումների դիմադրություն	Չափազանց լավ