पशुचिकित्सक-चीन यह सुनिश्चित करता है कि प्रत्येक टिकाऊसिलिकॉन कार्बाइड वेफर हैंडलिंग पैडलउत्कृष्ट प्रदर्शन और स्थायित्व है। यह सिलिकॉन कार्बाइड वेफर हैंडलिंग पैडल उन्नत विनिर्माण प्रक्रियाओं का उपयोग करता है ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि इसकी संरचनात्मक स्थिरता और कार्यक्षमता उच्च तापमान और रासायनिक संक्षारण वातावरण में बनी रहे। यह अभिनव डिज़ाइन सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग के लिए उत्कृष्ट समर्थन प्रदान करता है, विशेष रूप से उच्च-परिशुद्धता स्वचालित संचालन के लिए।
SiC कैंटिलीवर पैडलअर्धचालक विनिर्माण उपकरण जैसे ऑक्सीकरण भट्टी, प्रसार भट्टी और एनीलिंग भट्टी में उपयोग किया जाने वाला एक विशेष घटक है, मुख्य उपयोग उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान वेफर लोडिंग और अनलोडिंग, समर्थन और परिवहन वेफर्स के लिए है।
सामान्य संरचनाएँकासिकcएंटीलिवरpसड़ा: एक कैंटिलीवर संरचना, जो एक छोर पर स्थिर होती है और दूसरे पर मुक्त होती है, आमतौर पर एक सपाट और पैडल जैसी डिज़ाइन होती है।
कार्यरतpसिद्धांतकासिकcएंटीलिवरpसड़ा:
कैंटिलीवर पैडल भट्ठी कक्ष के भीतर ऊपर और नीचे या आगे और पीछे जा सकता है, इसका उपयोग वेफर्स को लोडिंग क्षेत्रों से प्रसंस्करण क्षेत्रों तक या प्रसंस्करण क्षेत्रों से बाहर ले जाने, उच्च तापमान प्रसंस्करण के दौरान वेफर्स को समर्थन और स्थिर करने के लिए किया जा सकता है।
पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण | |
संपत्ति | विशिष्ट मूल्य |
कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस) | 1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (कम करने वाला वातावरण) |
SiC सामग्री | > 99.96% |
निःशुल्क सी सामग्री | <0.1% |
थोक घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
स्पष्ट सरंध्रता | <16% |
संपीड़न ताकत | > 600 एमपीए |
ठंडी झुकने की ताकत | 80-90 एमपीए (20 डिग्री सेल्सियस) |
गर्म झुकने की शक्ति | 90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस) |
थर्मल विस्तार @1500°C | 4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस |
तापीय चालकता @1200°C | 23 डब्लू/एम•के |
लोचदार मापांक | 240 जीपीए |
थर्मल शॉक प्रतिरोध | बहुत ही अच्छा |