वीईटी ऊर्जा SiC लेपित सुसेप्टरसेमीकंडक्टर विनिर्माण की कठोर मांगों को पूरा करते हुए, विस्तारित जीवनकाल में विश्वसनीय, लगातार प्रदर्शन प्रदान करने के लिए सावधानीपूर्वक तैयार किया गया एक उच्च-प्रदर्शन समाधान है। असाधारण गर्मी प्रतिरोध, बेहतर थर्मल एकरूपता और उच्च शुद्धता की विशेषता के साथ, यह उत्पाद एमओसीवीडी वेफर वाहक और स्थिरता और परिशुद्धता की आवश्यकता वाले अन्य वेफर प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए आदर्श है। इसका मजबूत क्षरण प्रतिरोध इसे उन वातावरणों के लिए एक प्रीमियम विकल्प बनाता है जहां स्थायित्व और रासायनिक लचीलापन आवश्यक है।
हमाराSiC लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टरसेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण घटक के रूप में खड़ा है, जो अत्यधिक उच्च शुद्धता, बेहतर कोटिंग एकरूपता और उल्लेखनीय थर्मल स्थिरता प्राप्त करने के लिए वीईटी एनर्जी की विशेष पेटेंट तकनीक का लाभ उठाता है। कोटिंग उच्च रासायनिक प्रतिरोध और काफी विस्तारित सेवा जीवन के साथ ग्रेफाइट सब्सट्रेट को बढ़ाती है। गुणवत्ता के प्रति वीईटी एनर्जी के समर्पण के परिणामस्वरूप एक SiC-लेपित ससेप्टर तैयार हुआ है जो ग्रेफाइट वेफर कैरियर बाजार की उभरती जरूरतों को पूरा करता है, जो इसमें उपयोग किए जाने वाले SiC-लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर्स के लिए एक उच्च मानक स्थापित करता है।एमओसीवीडी प्रक्रियाएं.
SiC लेपित सुसेप्टर्स की मुख्य विशेषताएं:
1. उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध:1700℃ तक तापमान सहन कर सकता है, जो इसे अत्यधिक प्रसंस्करण स्थितियों के लिए उपयुक्त बनाता है।
2. उच्च शुद्धता और थर्मल एकरूपता:लगातार परिणाम सुनिश्चित करता है, के लिए महत्वपूर्णएमओसीवीडी संग्राहकऔर अन्य सटीक अनुप्रयोग।
3. उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध:अम्ल, क्षार, नमक और विभिन्न कार्बनिक अभिकर्मकों के प्रति लचीला।
4. बढ़ी हुई सतह कठोरता:महीन कणों वाली कॉम्पैक्ट सतह जो उच्च स्थायित्व और दीर्घायु प्रदान करती है।
5. विस्तारित सेवा जीवन:निरंतर प्रदर्शन के लिए इंजीनियर किया गया, कठोर प्रसंस्करण वातावरण में मानक सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित रिसेप्टर्स से बेहतर प्रदर्शन।
एक अग्रणी निर्माता के रूप में, वीईटी एनर्जी अनुकूलित ग्रेफाइट और में माहिर हैसिलिकॉन कार्बाइड उत्पादसहित विभिन्न कोटिंग विकल्पों के साथSiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, और पायरोलाइटिक कार्बन कोटिंग। हम गर्व से सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक उद्योगों की सेवा करते हैं, सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट रिसेप्टर्स प्रदान करते हैं जो विशिष्ट परिचालन मांगों को पूरा करते हैं।
शीर्ष घरेलू अनुसंधान संस्थानों के अनुभव के साथ हमारी तकनीकी टीम, बढ़ती जरूरतों के लिए सामग्री समाधानों को आगे बढ़ाने के लिए समर्पित है।SiC-लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टरबाज़ार। हमारी पेटेंट प्रक्रिया के माध्यम से, वीईटी एनर्जी ने अनूठी तकनीक विकसित की है जो सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग और सब्सट्रेट के बीच बंधन ताकत में काफी सुधार करती है, अलगाव के जोखिम को कम करती है और दीर्घकालिक विश्वसनीयता बढ़ाती है।
सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में अनुप्रयोग और लाभ
MOCVD के लिए SiC कोटिंगसक्षम बनाता हैग्रेफाइट संग्राहकउच्च तापमान और संक्षारक वातावरण के तहत अखंडता बनाए रखने के लिए घटक, जो सटीक अर्धचालक उत्पादन के लिए महत्वपूर्ण है। इन SiC-लेपित ग्रेफाइट घटकों को विशेष रूप से उन प्रक्रियाओं में महत्व दिया जाता है जिनके लिए सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित रिसेप्टर्स की आवश्यकता होती हैग्रेफाइट वेफर वाहक, जो उच्च तापीय स्थिरता, शुद्धता और रासायनिक क्षरण के प्रतिरोध की मांग करता है।
हमारी उन्नत सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग तकनीकों के साथ, वीईटी एनर्जी अनुकूलित, उच्च-प्रदर्शन प्रदान करके ग्रेफाइट वेफर कैरियर बाजार का समर्थन करना जारी रखती है।SiC-लेपित ग्रेफाइट रिसेप्टर्सजो एमओसीवीडी प्रक्रियाओं से लेकर सेमीकंडक्टर क्षेत्र में उच्च-शुद्धता अनुप्रयोगों तक उद्योग-विशिष्ट चुनौतियों का समाधान करता है।