सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग हीटर

पशुचिकित्सक-चीनसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिककोटिंग एक उच्च प्रदर्शन वाली सुरक्षात्मक कोटिंग है जो बेहद कठोर और पहनने के लिए प्रतिरोधी होती हैसिलिकॉन कार्बाइड (SiC)सामग्री, जो उत्कृष्ट रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापमान स्थिरता प्रदान करती है। अर्धचालक उत्पादन में ये विशेषताएँ महत्वपूर्ण हैंसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगअर्धचालक विनिर्माण उपकरण के प्रमुख घटकों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।

पशुचिकित्सक-चीन की विशिष्ट भूमिकासिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिकअर्धचालक उत्पादन में कोटिंग इस प्रकार है:

उपकरण स्थायित्व बढ़ाएँ:सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग अपनी अत्यधिक उच्च कठोरता और पहनने के प्रतिरोध के साथ अर्धचालक विनिर्माण उपकरण के लिए उत्कृष्ट सतह सुरक्षा प्रदान करती है। विशेष रूप से उच्च तापमान और अत्यधिक संक्षारक प्रक्रिया वाले वातावरण में, जैसे कि रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) और प्लाज्मा नक़्क़ाशी, कोटिंग उपकरण की सतह को रासायनिक क्षरण या भौतिक घिसाव से क्षतिग्रस्त होने से प्रभावी ढंग से रोक सकती है, जिससे सेवा जीवन में काफी वृद्धि होती है। उपकरण और बार-बार प्रतिस्थापन और मरम्मत के कारण होने वाले डाउनटाइम को कम करना।

प्रक्रिया शुद्धता में सुधार:सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, छोटे संदूषण से उत्पाद में खराबी हो सकती है। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग की रासायनिक जड़ता इसे चरम परिस्थितियों में स्थिर रहने की अनुमति देती है, सामग्री को कणों या अशुद्धियों को छोड़ने से रोकती है, जिससे प्रक्रिया की पर्यावरणीय शुद्धता सुनिश्चित होती है। यह उन विनिर्माण चरणों के लिए विशेष रूप से महत्वपूर्ण है जिनके लिए उच्च परिशुद्धता और उच्च सफाई की आवश्यकता होती है, जैसे कि पीईसीवीडी और आयन प्रत्यारोपण।

थर्मल प्रबंधन का अनुकूलन करें:उच्च तापमान वाले अर्धचालक प्रसंस्करण में, जैसे कि तीव्र तापीय प्रसंस्करण (आरटीपी) और ऑक्सीकरण प्रक्रियाएं, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग की उच्च तापीय चालकता उपकरण के अंदर समान तापमान वितरण को सक्षम बनाती है। यह तापमान में उतार-चढ़ाव के कारण होने वाले थर्मल तनाव और सामग्री विरूपण को कम करने में मदद करता है, जिससे उत्पाद निर्माण सटीकता और स्थिरता में सुधार होता है।

जटिल प्रक्रिया वातावरण का समर्थन करें:जिन प्रक्रियाओं में जटिल वातावरण नियंत्रण की आवश्यकता होती है, जैसे कि आईसीपी नक़्क़ाशी और पीएसएस नक़्क़ाशी प्रक्रियाएं, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग की स्थिरता और ऑक्सीकरण प्रतिरोध यह सुनिश्चित करता है कि उपकरण दीर्घकालिक संचालन में स्थिर प्रदर्शन बनाए रखता है, जिससे सामग्री के क्षरण या उपकरण क्षति के जोखिम को कम किया जाता है। पर्यावरणीय परिवर्तनों के लिए.