उन्नतSiC कैंटिलीवर पैडलवेट-चाइना द्वारा निर्मित वेफर प्रोसेसिंग सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए एक उत्कृष्ट समाधान प्रदान करता है। यह कैंटिलीवर पैडल SiC (सिलिकॉन कार्बाइड) सामग्री से बना है, और इसकी उच्च कठोरता और गर्मी प्रतिरोध इसे उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में उत्कृष्ट प्रदर्शन बनाए रखने में सक्षम बनाता है। कैंटिलीवर पैडल का डिज़ाइन प्रसंस्करण के दौरान वेफर को विश्वसनीय रूप से समर्थित करने की अनुमति देता है, जिससे विखंडन और क्षति का जोखिम कम हो जाता है।
SiC कैंटिलीवर पैडलअर्धचालक विनिर्माण उपकरण जैसे ऑक्सीकरण भट्टी, प्रसार भट्टी और एनीलिंग भट्टी में उपयोग किया जाने वाला एक विशेष घटक है, मुख्य उपयोग उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान वेफर लोडिंग और अनलोडिंग, समर्थन और परिवहन वेफर्स के लिए है।
सामान्य संरचनाएँकासिकcएंटीलिवरpसड़ा: एक कैंटिलीवर संरचना, जो एक छोर पर स्थिर होती है और दूसरे पर मुक्त होती है, आमतौर पर एक सपाट और पैडल जैसी डिज़ाइन होती है।
वीईटी एनर्जी गुणवत्ता की गारंटी के लिए उच्च शुद्धता वाली पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री का उपयोग करती है।
पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण | |
संपत्ति | विशिष्ट मूल्य |
कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस) | 1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (कम करने वाला वातावरण) |
SiC सामग्री | > 99.96% |
निःशुल्क सी सामग्री | <0.1% |
थोक घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
स्पष्ट सरंध्रता | <16% |
संपीड़न ताकत | > 600एमपीए |
ठंडी झुकने की ताकत | 80-90 एमपीए (20 डिग्री सेल्सियस) |
गर्म झुकने की शक्ति | 90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस) |
थर्मल विस्तार @1500°C | 4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस |
तापीय चालकता @1200°C | 23डब्ल्यू/एम•के |
लोचदार मापांक | 240 जीपीए |
थर्मल शॉक प्रतिरोध | बहुत ही अच्छा |
वेफर प्रसंस्करण के लिए वीईटी एनर्जी के उन्नत SiC कैंटिलीवर पैडल के फायदे हैं:
-उच्च तापमान स्थिरता: 1600 डिग्री सेल्सियस से ऊपर के वातावरण में प्रयोग करने योग्य;
-कम थर्मल विस्तार गुणांक: आयामी स्थिरता बनाए रखता है, वेफर वारपेज जोखिम को कम करता है;
-उच्च शुद्धता: धातु संदूषण का कम जोखिम;
-रासायनिक जड़ता: संक्षारण प्रतिरोधी, विभिन्न गैस वातावरणों के लिए उपयुक्त;
-उच्च शक्ति और कठोरता: पहनने के लिए प्रतिरोधी, लंबी सेवा जीवन;
-अच्छी तापीय चालकता: एक समान वेफर हीटिंग में मदद करता है।