Portador / Susceptor de grafito revestido de SiC

Breve descrición:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier/Susceptor é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha excelente resistencia á calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistencia á erosión, polo que é a solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

O suscetpor revestido de SiC é un compoñente clave usado en varios procesos de fabricación de semicondutores. Usamos a nosa tecnoloxía patentada para facer o suscetpor revestido de SiC cunha pureza extremadamente alta, unha boa uniformidade de revestimento e unha excelente vida útil, así como unha alta resistencia química e propiedades de estabilidade térmica.

Características dos nosos produtos:

1. Resistencia á oxidación a alta temperatura ata 1700 ℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistencia á corrosión: ácido, álcali, sal e reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e máis duradeiro

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 / Tamaño do gran	2 ~ 10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995 %
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / ThermalCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1