Silicon Carbide Coating Graphite Tray Plate en Cover

Koarte beskriuwing:

VET Energy silisium carbid coating grafyt plaat en cover is in hege-optreden produkt ûntwurpen foar in foarsjen konsekwinte en betroubere prestaasjes oer in langere perioade. It hat super goede waarmte ferset en termyske uniformiteit, hege suverens, eroazje ferset, wêrtroch't it de perfekte oplossing foar wafer ferwurkjen applikaasjes.

Stjoer e-mail nei ús Download as PDF

Produkt Detail

Produkt Tags

VET EnergySilicon Carbide Coating Graphite Tray, Plaat, en Cover is ûntwurpen om top-tier prestaasjes te leverjen, it leverjen fan betroubere en konsekwinte operaasje oer útwreide gebrûk, wêrtroch it in essensjele kar is foar tapassingen foar waferferwurking yn 'e semiconductor-yndustry. Dizze hege prestaasjesSilicon Carbide Coating Graphite Platehat útsûnderlike waarmtebestriding, superieure thermyske uniformiteit, en treflike gemyske stabiliteit, benammen yn omstannichheden mei hege temperatueren. De konstruksje mei hege suverens, tegearre mei avansearre eroazjebestriding, makket it ûnmisber foar easken omjouwings lykasMOCVD susceptors.

Wichtige eigenskippen fan silisiumkarbidcoating grafytbak, plaat en omslach

1. Hege temperatuer oksidaasjeresistinsje:Standert temperatueren oant 1700 ℃, wêrtroch it betrouber kin prestearje yn ekstreme omstannichheden.

2. Hege suverens en thermyske uniformiteit:Konsistente hege suverens en sels waarmteferdieling binne krúsjaal foar MOCVD-applikaasjes.

3. Útsûnderlike korrosjebestriding:Resistint foar soeren, alkalis, sâlten, en ferskate organyske reagentia, garandearje lange-termyn stabiliteit yn ferskate omjouwings.

4. Hege hurdens en kompakt oerflak:Befettet in ticht oerflak mei fyn dieltsjes, ferbetterjen fan de totale duorsumens en wjerstân tsjin wear.

5. Ferlingde Service Life:Yngenieurd foar langstme, oertreffend konvinsjoneelsilisium carbid-coated grafyt susceptorsyn hurde semiconductor ferwurkjen omjouwings.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCcoating
性质 / Eigenskip	典型数值 / Typyske Wearde
晶体结构 / Crystal Struktuer	FCC β faze多晶，主要为（111）取向
密度 / Tichtheid	3,21 g/cm³
硬度 / Hurdens	2500 维氏硬度（500g lading）
晶粒大小 / Grain Grutte	2~10μm
纯度 / Chemical Purity	99.99995%
热容 / Heat Kapasiteit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimation Temperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Jongens Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)	4,5×10^-6K^-1

De ekspertize fan VET Energy yn maatwurkoplossingen foar grafyt en silisiumkarbid

As in fertroude fabrikant is VET Energy spesjalisearre yn op maat ûntworpen grafyt-susceptors en oplossings foar silisiumkarbid-coating. Wy biede in oanbod fan produkten op maat foar de semiconductor en fotovoltaïsche yndustry, ynklusyfSiC-coated grafyt komponintenlykas trays, platen en dekken. Us produktopstelling omfettet ek ferskate opsjes foar coating, lykasSiC coating foar MOCVD, TaC coating, glêzen koalstof coating, en pyrolytic koalstof coating, garandearje wy foldogge oan de wikseljende easken fan hege-tech yndustry.

Us betûfte technyske team, besteande út saakkundigen fan top ynlânske ûndersyksynstituten, leveret wiidweidige materiaaloplossingen foar kliïnten. Wy ferfine kontinu ús avansearre prosessen, ynklusyf in eksklusive patintearre technology dy't fersterket bân tusken de silisium carbid coating en it grafyt substraat, ferminderjen fan it risiko fan losmeitsjen en fierder ferlingjen fan it produkt syn libben.

Applikaasjes en foardielen yn Semiconductor Manufacturing

DeSilicon Carbide Coating foar MOCVDmakket dizze grafyt susceptors tige effektyf yn hege-temperatuer, corrosive omjouwings. Oft brûkt as grafytwaferdragers as oare MOCVD-komponinten, dizze silisiumkarbid-coated susceptors demonstrearje superieure duorsumens en prestaasjes. Foar dyjingen dy't sykje betroubere oplossingen yn 'eSiC-coated grafyt susceptormerk, VET Energy's silisiumkarbid-coated grafytbak, plaat en omslach biede in robúste en alsidige opsje dy't foldocht oan 'e strange easken fan' e semiconductor-yndustry.

Troch te fokusjen op avansearre materiaalwittenskip, set VET Energy har yn foar it leverjen fan hege prestaasjes SiC-coated grafytoplossingen dy't ynnovaasje yn healgelearderferwurking driuwe en betroubere prestaasjes soargje yn alle MOCVD-relatearre applikaasjes.

VET Energy is de echte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei ferskate coatings lykas SiC-coating, TaC-coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ensfh.

Us technyske team komt fan top ynlânske ûndersyksynstituten, kin mear profesjonele materiaal oplossings foar jo leverje.

Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen, en hawwe in eksklusive patintearre technology útwurke, dy't de ferbining tusken de coating en it substraat strakker meitsje kin en minder gefoelich foar losmeitsjen.

Fan herte wolkom om ús fabryk te besykjen, litte wy fierdere diskusje hawwe!