Sina Fabrikant SiC Coated Graphite MOCVD Epitaksy Susceptor

China Manufacturer SiC Coated Graphite MOCVD Epitaksy Susceptor Featured Image

Koarte beskriuwing:

Reinheid <5ppm
‣ Goede dopinguniformiteit
‣ Hege tichtens en adhesion
‣ Goede anty-korrosive en koalstofresistinsje

‣ Profesjonele oanpassing
‣ Koarte levertiid
‣ Stabiele oanbod
‣ Kwaliteitskontrôle en trochgeande ferbettering

Epitaksy fan GaN op Sapphire(RGB / Mini / Micro LED);
Epitaksy fan GaN op Si Substrate(UVC);
Epitaksy fan GaN op Si Substrate(elektroanysk apparaat);
Epitaksy fan Si op Si Substraat(Integrated circuit);
Epitaksy fan SiC op SiC Substraat(Substrate);
Epitaksy fan InP op InP

Stjoer e-mail nei ús Download as PDF

Produkt Detail

Produkt Tags

Hoge kwaliteit MOCVD Susceptor Keapje online yn Sina

In wafel moat troch ferskate stappen passe foardat it klear is foar gebrûk yn elektroanyske apparaten. Ien wichtich proses is silisium epitaksy, wêrby't de wafels wurde droegen op grafytsusceptors. De eigenskippen en kwaliteit fan 'e susceptors hawwe in krúsjale ynfloed op' e kwaliteit fan 'e epitaksiale laach fan' e wafel.

Foar fazen fan ôfsetting fan tinne film lykas epitaksy of MOCVD, leveret VET ultra-suvere grafytapparatuer dy't brûkt wurdt om substraten as "wafers" te stypjen. Yn 'e kearn fan it proses wurde dizze apparatuer, epitaksy-susceptors as satellytplatfoarms foar de MOCVD, earst ûnderwurpen oan de depositionomjouwing:

Hege temperatuer.
Heech fakuüm.
Gebrûk fan agressive gasfoarmige foarrinners.
Nul fersmoarging, ôfwêzigens fan peeling.
Ferset tsjin sterke soeren by skjinmeitsjen

VET Energy is de echte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei coating foar semiconductor- en fotovoltaïske yndustry. Us technyske team komt fan top ynlânske ûndersyksynstituten, kin mear profesjonele materiaal oplossings foar jo leverje.

Wy ûntwikkelje kontinu avansearre prosessen om mear avansearre materialen te leverjen, en hawwe in eksklusive patintearre technology útwurke, dy't de ferbining tusken de coating en it substraat strakker meitsje kin en minder gefoelich foar losmeitsjen.

Eigenskippen fan ús produkten:

1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700 ℃.
2. Hege suverens en thermyske uniformiteit
3. Excellent corrosie ferset: soere, alkali, sâlt en organyske reagents.
4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
5. Langere libbensdoer en duorsumer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCcoating
性质 / Eigenskip	典型数值 / Typyske Wearde
晶体结构 / Crystal Struktuer	FCC β faze多晶，主要为（111）取向
密度 / Tichtheid	3,21 g/cm³
硬度 / Hurdens	2500 维氏硬度（500g lading）
晶粒大小 / Grain Grutte	2~10μm
纯度 / Chemical Purity	99,99995%
热容 / Heat Kapasiteit	640 j kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimation Temperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Jongens Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)	4,5×10^-6K^-1