Tynnyrisuskeptori nestefaasiepitaksia LPE:lle
EPI (epitaksi)on kriittinen prosessi kehittyneiden puolijohteiden valmistuksessa. Se sisältää ohuiden materiaalikerrosten kerrostamisen substraatille monimutkaisten laiterakenteiden luomiseksi. SiC-pinnoitettuja grafiittitynnyrisuskeptoreita EPI:lle käytetään yleisesti suskeptoreina EPI-reaktoreissa niiden erinomaisen lämmönjohtavuuden ja korkeiden lämpötilojen kestävyyden vuoksi. KanssaCVD-SiC pinnoite, se kestää paremmin kontaminaatiota, eroosiota ja lämpöshokkia. Tämä johtaa suskeptorin pidempään käyttöikään ja parempaan kalvon laatuun.
Tynnyrisuskeptorimme edut nestefaasiepitaksia LPE:lle:
Vähentynyt kontaminaatio:SiC:n inertti luonne estää epäpuhtauksien tarttumisen suskeptorin pintaan, mikä vähentää kerrostuneiden kalvojen kontaminaatioriskiä.
Lisääntynyt eroosionkestävyys:SiC kestää huomattavasti eroosiota paremmin kuin perinteinen grafiitti, mikä pidentää suskeptorin käyttöikää.
Parempi lämpöstabiilisuus:SiC:llä on erinomainen lämmönjohtavuus ja se kestää korkeita lämpötiloja ilman merkittäviä vääristymiä.
Parannettu elokuvan laatu:Parannettu lämpöstabiilisuus ja vähentynyt kontaminaatio johtavat laadukkaampiin kerrostettuihin kalvoihin, joilla on parempi tasaisuus ja paksuuden hallinta.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd on korkean teknologian yritys, joka keskittyy korkealuokkaisten edistyneiden materiaalien, materiaalien ja teknologian, mukaan lukien grafiitti, piikarbidi, keramiikka, pintakäsittely, kuten piikarbidipinnoite, TaC-pinnoite, lasimainen hiili, tuotantoon ja myyntiin. pinnoite, pyrolyyttinen hiilipinnoite jne., Näitä tuotteita käytetään laajalti aurinkosähköissä, puolijohteissa, uudessa energiassa, metallurgiassa jne.
Tekninen tiimimme tulee parhaista kotimaisista tutkimuslaitoksista ja on kehittänyt useita patentoituja teknologioita varmistaakseen tuotteiden suorituskyvyn ja laadun, ja se voi myös tarjota asiakkaille ammattimaisia materiaaliratkaisuja.
Toivotamme sinut lämpimästi tervetulleeksi vierailemaan laboratoriossamme ja tehtaallamme teknisen keskustelun ja yhteistyön merkeissä!
