4 tuuman GaN SiC Waferissa

Lyhyt kuvaus:

VET Energyn 4 tuuman GaN on SiC kiekko on vallankumouksellinen tuote tehoelektroniikan alalla. Tässä kiekossa piikarbidin (SiC) erinomainen lämmönjohtavuus yhdistyy korkeaan tehotiheyteen ja galliumnitridin (GaN) pieneen häviöön, mikä tekee siitä ihanteellisen valinnan suurtaajuisten ja suuritehoisten laitteiden valmistukseen. VET Energy varmistaa kiekon erinomaisen suorituskyvyn ja yhtenäisyyden kehittyneen MOCVD-epitaksiaalitekniikan avulla.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-muodossa

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

VET Energyn tuotevalikoima ei rajoitu SiC-kiekkojen GaN:iin. Tarjoamme myös laajan valikoiman puolijohdesubstraattimateriaaleja, mukaan lukien Si Wafer, SiC Substraatti, SOI Wafer, SiN Substraatti, Epi Wafer jne. Lisäksi kehitämme aktiivisesti uusia laajakaistaisia puolijohdemateriaaleja, kuten galliumoksidi Ga2O3 ja AlN Kiekko, joka vastaa tulevaisuuden tehoelektroniikkateollisuuden kysyntää tehokkaammille laitteille.

VET Energy tarjoaa joustavia räätälöintipalveluita ja voi räätälöidä eripaksuisia, erityyppisiä doping- ja erikokoisia GaN-epitaksiaalikerroksia asiakkaiden erityistarpeiden mukaan. Lisäksi tarjoamme myös ammattitaitoista teknistä tukea ja huoltopalvelua, joka auttaa asiakkaita kehittämään nopeasti korkean suorituskyvyn sähkölaitteita.

WAVERING TEKNISET TIEDOT

*n-Pm = n-tyyppinen Pm-luokka, n-Ps = n-tyyppinen Ps-luokka, Sl = puolieristävä

Tuote	8-tuumainen	6-tuumainen			4 tuumaa
Tuote	nP	n-pm	n-Ps	SI	SI
TTV (GBIR)	≤6um	≤6um
Jousi(GF3YFCD)-absoluuttinen arvo	≤15 μm	≤15 μm	≤25 μm		≤15 μm
Warp (GF3YFER)	≤25 μm	≤25 μm	≤40 μm		≤25 μm
LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm	<2 μm
Wafer Edge	Viistot

PINNAN VIIMEISTELY

*n-Pm = n-tyyppinen Pm-luokka, n-Ps = n-tyyppinen Ps-luokka, Sl = puolieristävä

Tuote	8-tuumainen	6-tuumainen			4 tuumaa
	nP	n-pm	n-Ps	SI	SI
Pintakäsittely	Kaksipuolinen optinen kiillotusaine, Si-Face CMP
Pinnan karheus	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm C-Face Ra≤ 0,5 nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm C-Face Ra≤0,5nm
Reunalastut	Ei sallittu (pituus ja leveys ≥ 0,5 mm)
Sisennykset	Ei sallittu
Naarmut (Si-Face)	Määrä ≤ 5, kumulatiivinen Pituus ≤ 0,5 × kiekon halkaisija	Määrä ≤ 5, kumulatiivinen Pituus ≤ 0,5 × kiekon halkaisija			Määrä ≤ 5, kumulatiivinen Pituus ≤ 0,5 × kiekon halkaisija
Halkeamia	Ei sallittu
Reunojen poissulkeminen	3 mm